リニア圧電アクチュエータ P-405 Picoactuator® series

多軸剪断モード

鉛フリーの結晶アクチュエータ材料 高ダイナミクス 位置制御なしの操作に最適 低消費電力 最小限の長さ公差 最大±500 Vのバイポーラ動作電圧。ほぼヒステリシスのない動作（<0.2 %）。クリープなしピコアクチュエータ®は、縦方向およびせん断アクチュエータとして、高さ20 mm、移動範囲1 µmまで設定可能です。 テクノロジー Picoactuator® 縦型およびせん断型アクチュエータは結晶性圧電材料で構成されています。せん断アクチュエータの比変位はアクチュエータ長さの±0.02%、縦型ピエゾアクチュエータは±0.01%です。この値は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)製の圧電アクチュエータと比較すると10分の1です。動きは非常に直線的で、ほとんどヒステリシスがありません。 特注品やその他の仕様も承ります。 10-9hPaまでのUHV対応 内孔 チップ 適用分野 産業および研究 真空アプリケーション 高ダイナミクス、オープンループスキャニングアプリケーション ナノポジショニングシステム（「面外」および「線外」）による望ましくない横運動の補正