Pi1511 ビッグコンボユニット
Pi1511は、大量のPVDコーティング装置です。ドア内の回転式PLATIT LARC® XLカソード3基とチャンバー後部のPlanar ARCカソード2基を組み合わせています。丸型カソードと高性能なプレーナーカソードの組み合わせにより、PLATITシグネチャーコーティングを身近な柔軟性で成膜することができます。LARC® XLカソードは非常に長い寿命を持っているため、高い生産性を低コストで保証します。
技術を適用しました。
ドアの内側にLARC® XL(LAteral Rotating XL Cathode)を3枚、背面にARC技術を用いたプレーナーカソードを2枚搭載
磁界自動調整用MAC-3C(磁気アーク拘束-コイル電流補償
素早いカソード交換
PLATITシグネチャーコーティングの蒸着
エッチング技術を応用しています。
LGD® (Lateral Glow Discharge)
アルゴンによるプラズマエッチング、グロー放電
金属イオンエッチング(Ti、Cr
荷重とサイクルタイム
最大塗布量:φ715×H805 [mm]
定義されたコーティング厚さでの最大コーティング高さ:711 mm
最大荷重400 kg
3バッチ/日
シャンク工具(2μm):φ10×70[mm]、1080本、7.0h
インサート(3μm):-φ/□20/14×6[mm]、-7200個、-7.5h
ホブ(4μm):-φ80×180[mmm]、-48個、-7.
* 生産環境における典型的なコーティングミックスの平均サイクルタイム。
モジュラーカルーセルシステム1~12軸
ソフトウェアのこと。
シンプルな使用方法とメンテナンス
プラチットのスマートソフトウェア(PC・PLCシステム
タッチスクリーンを備えた近代的な制御システム
ユーザーインターフェースによる統計とヘルプ機能
プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示
手動・自動プロセス制御
遠隔診断とメンテナンス
機械寸法
フットプリント幅4900×奥行2200×高さ2450 [mm]
---