光起電性貯蔵マシン SP series

マグネトロン スパッタリング式シリコン薄膜真空

当社の光学式マグネトロンスパッタリング装置の技術は、安定した成膜システムを持ち、それを支える精密な制御方法は、大手企業を中心に広く採用されています。 また、このタイプの装置には、お客様の生産性と効率を最大限に高めるための化学装置が完備されています。当社独自のSI高電離層ターゲットソースは、バランスのとれた高屈折フィルムの生産準備を補完するのに役立ちます。この技術により、AR+AFフィルムやカラフルなグラデーションフィルム、光学フィルムを製造することができます。低温での成膜が可能なため、様々な製品の表面膜の製造に使用できます。本装置は、全自動スパッタリング制御モードを有し、フィルムの状態をリアルタイムに監視し、安定したバッチ生産を実現します。