ダイアモンド ワイヤー切断機 DW 292-300

マルチワイヤー単結晶シリコン用ブロック

DW292-300 は、直径 300mm までの単結晶シリコンブロックを、半導体産業向けの高品質なウェハにスライスするために特別に設計されています。 新開発の DW292-300 は、ダイヤモンドワイヤだけでなく、スラリーでの運用も可能で、反りやうねりなどのウェーハ品質を向上させるための高度な機能を備えています。 線材の長尺化、線材の高速化、線材の加速化により、装置あたりのスループットを向上させることができます。可動部のイナーシャの最適化、たわみローラーの削減、ワイヤーパスの短縮により、極細ダイヤモンドワイヤーの使用が可能です。 DW292-300 は、コンパクトで堅牢なミネラルキャストフレームと高剛性の設計により、温度変化や振動に非常に強くなっています。 また、プロセスの自動化や、ダイアログベースのプロダクションアシスタントを備えた直感的なHMIにより、より安全に、より簡単に、より速く操作することができます。 お客様のメリット 高品質なウエハ スループットの向上 堅牢性と耐久性 プロセスの自動化 簡単で安全な操作