洗浄冷却液体 FC-1004

高性能透明環境に優しい

製品概要
FC-1004はGaoceが開発・製造したシリコンウェーハ用の水系切削液で、マルチワイヤー（ダイヤモンドワイヤー）切断工程向けに設計されています。循環配管を通じて切断領域に噴霧され、潤滑・冷却を行うとともに、si‑kerf粒子の洗浄・分散を行い切断状態を安定化させます。生産現場ではA級ウェーハ歩留まりの向上、ワイヤーブレイクの低減、TTVやソーマークの改善に寄与し、RoHS・REACH等の環境規制にも適合します。

製品パラメータ（物理化学的指標）
項目：物理化学的指標
外観（原液）：無色～淡黄色の透明液体
クラウドポイント（原液）：45 - 48 ℃
COD値（原液）：900,000～1.2百万 ppm
密度（原液、25 ℃）：0.99 - 1.03 g/mL
揮発分（原液）：53.0 - 57.0 %
pH値（1 wt%、25 ℃）：6.0 - 6.4
導電率（1 wt%、25 ℃）：≤40 μS/cm
静的表面張力（0.2 wt%、25 ℃）：28 - 31 mN/m

特長／技術仕様

• 主用途：シリコンウェーハ製造のマルチワイヤー切断用水性添加剤。
• 機能：潤滑、冷却、切削粉（si‑kerf）の洗浄・分散による切断安定化。
• 効果：切断歩留まり（特にA級歩留まり）の向上、ダイヤモンドワイヤー切断破断率の低減、TTVやソーマークの改善。
• 適用方法：原液を循環配管で切断領域に噴霧して使用。
• 外観・取扱い：無色～淡黄色の透明液体で、一般的な循環システムでの取扱いが容易。
• 主要物性：クラウドポイント45–48 ℃、密度0.99–1.03 g/mL、揮発分53.0–57.0 %、pH（1 wt%）6.0–6.4、導電率≤40 μS/cm、静的表面張力28–31 mN/m。
• 環境・排水：原液のCODが高い（900,000–1.2M ppm）ため、廃水処理・管理が必要。
• 適合性：RoHS、REACH等の関連規制に準拠。