イソプロパノール乾燥機 VaporDry

バッチ式掃除用すすぎ用

RENA VaporDryerは、IPA乾燥プロセスと洗浄およびリンスを統合し、シングルステッププロセスを提供します。高アスペクト比のフィーチャーやスルーシリコンビア（TSV）から水分を除去し、複雑な表面を効果的に乾燥させる理想的なソリューションです。VaporDryはRENAバッチ浸漬プラットフォームに組み込むことができます。この乾燥機はFEoLとBEoLの両方のアプリケーションに適用できます。プロセス全体は、RENAの先進的なIDX Flexwareプロセス制御ソフトウェアによって監視、制御されます。 特徴と利点 マランゴーニ乾燥機と比較して低コスト 沸騰サンプベーパードライヤーと比較してIPA消費量を85%削減 堅牢で信頼性が高く、現場で実証済みの性能 卓越した粒子性能（深さ750 µm 設置面積が小さい