絶対リニアエンコ—ダ RESOLUTE™ UHV RELA30
光学式非接触式IP30

絶対リニアエンコ—ダ
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特徴

タイプ
絶対
技術
光学式
機械的特性
非接触式
保護レベル
IP30
その他の特徴
高精度, 高解像度
長さ

最少: 80 mm
(3.15 in)

最大: 1,500 mm
(4.921 in)

分解能

1 nm, 5 nm, 50 nm, 100 nm

詳細

RESOLUTE UHV とは RESOLUTE UHV は、超高真空アプリケーションにアブソリュートエンコーダ技術を利用できるようにしたもので、スループットを向上させ、損傷のリスクを低減しながら、信頼性を高められます。 RESOLUTE は、UHV 環境向けに設計されたあらゆるアブソリュートエンコーダを上回るパフォーマンスを備えています。100m/s で 1nm の分解能を備える RESOLUTE は、エンコーダ技術において画期的な仕様を実現しています。 英国女王(法人)賞:2015 年度イノベーション賞 2015 年度英国女王(法人)賞のイノベーション部門賞を受賞 RELA30 スケールとは RELA30 は、熱膨張率が低いニッケルと鉄の合金である ZeroMet から作られたスケールで、絶対位置スケールコードは 30µm ピッチで刻まれています。 ファインピッチガラススケールに匹敵する性能に加え、長さ 1m で±1µm 以内の精度(勾配とリニアリティーを含む)を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で 0.75 ±0.35µm/m/℃です。 ニーズに合わせて、特別製造の UHV 対応両面テープか機械式クリップによる取付け方式を選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。

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3-07 6月 2024 Bilbao (スペイン) ホール 2 - ブース D-38

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    10-14 6月 2024 Frankfurt am Main (ドイツ)

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