巻取り器 CB-V12000/16000
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詳細
スループット：12000-16000ウェハ/時間
破損率M10≤0.01%/M12≤0.02
稼働時間: ≥98
特徴
TOPCon、BC、HJT高効率太陽電池の巻線除去
ナノバブル洗浄により、シリコンウェハー表面の効率的な洗浄を実現
ドライクリーンエリアとセルフクリーニングシステム
クロスコンタミネーションと反応オーバータイムを回避
不純物の沈殿を避けるために、関連材料をアップグレードする。
MES及びRFID機能付き
インテリジェント装置、エネルギー消費統計と分析機能
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