プロセスオートメーション システム RTA-DF-12000

スループット：12000 破損率 0.01%@182; 0.02%@210 稼働率：99%以上 特徴 オプションのガントリーソリューションまたは6軸ロボットソリューション リニアモーターガントリーフレーム設計、高速、安定、信頼性が高い。 オプションの視覚フラワーキャリア、石英ボートの破片検出、石英ボートの位置決め。 セグメント化された全体溶接スチールフレーム、安定した信頼性の高い構造。 MESインターフェースとリモートデバッグ機能をサポート スマートIGVインターフェース インテリジェント装置、OEE統計とエネルギー消費分析 M10、M12、220-230mm、フルサイズ、ハーフサイズのウェハーに対応。