乾式洗浄機 Optiwet
ウェハー用湿式処理ハンギング

乾式洗浄機 - Optiwet - RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd. - ウェハー用 / 湿式処理 / ハンギング

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特徴

技術: 乾式
応用: ウェハー用
その他の特徴: 湿式処理, ハンギング

詳細

ウェハー/基板/マスクのウェット処理洗浄、現像、ストライピング、エッチング、各種ケミカルプロセス（ピラニア、HF、SC1、SC2、メガソニック、高圧を含むスタンドアローンおよびウェットベンチバージョン最大ウェーハサイズ：Ø 12" (Ø 300 mm) / Ø 600 mm / Ø 750 mm カスタマイズチャック 200のプログラム可能なレシピ

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