乾式洗浄機 Maximus806自動プロセス
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特徴
- 技術
- 乾式
- 操作方法
- 自動
- 応用
- プロセス
詳細
プロセスステーション用の全自動マイクロクラスターシステム。
ストリッピング
スピンコーター
デベロッパー
リフトオフ
ホット、クール、プライマープレート
UVベーキング
最大ウェハーサイズØ 6"~ Ø 8" (Ø 150 ~ Ø 200 mm)
最大基板サイズ: 6" x 6" (150 mm x 150 mm)
最大6プロセスステーションまでのモジュラーデザイン
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