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乾式洗浄機 Maximus806
自動プロセス

乾式洗浄機 - Maximus806 - RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd. - 自動 / プロセス
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特徴

技術
乾式
操作方法
自動
応用
プロセス

詳細

プロセスステーション用の全自動マイクロクラスターシステム。 ストリッピング スピンコーター デベロッパー リフトオフ ホット、クール、プライマープレート UVベーキング 最大ウェハーサイズØ 6"~ Ø 8" (Ø 150 ~ Ø 200 mm) 最大基板サイズ: 6" x 6" (150 mm x 150 mm) 最大6プロセスステーションまでのモジュラーデザイン

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