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RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
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乾式洗浄機
Maximus806
自動
プロセス
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特徴
技術
乾式
操作方法
自動
応用
プロセス
詳細
プロセスステーション用の全自動マイクロクラスターシステム。 ストリッピング スピンコーター デベロッパー リフトオフ ホット、クール、プライマープレート UVベーキング 最大ウェハーサイズØ 6"~ Ø 8" (Ø 150 ~ Ø 200 mm) 最大基板サイズ: 6" x 6" (150 mm x 150 mm) 最大6プロセスステーションまでのモジュラーデザイン
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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