フィルターガス清浄機 PS4-MT50 Series

窒素

流れのMonoTorrの高い清浄器は流動度の150までslpmの水素、窒素および希ガス類の副ppb不純物の取り外しを提供する。各清浄器は十分に封じられた来、壁の土台のために設計されている。標準機能は電子工学のための別の湾、ガス配管のシステム及び電子工学のための別のドア、およびファンが付いている排気つばとの排出されたエンクロージャを含んでいる。任意パッケージは（水素の単位のために）流れセンサーが付いている自動シャットダウン、電子分離および窒素のパージ システムが付いている水素の漏出探知器を含んでいる。 熱されたゲッターの清浄器は希ガス類、窒素および水素に不純物の最も完全な取り外しを提供する。金属のゲッターはすべての酸化物、炭化物および窒化物の不純物が付いている不可逆化学結合を形作る。MonoTorrはプロセス ガスから炭化水素および窒素を取除くことができる唯一の清浄器の技術である。