窒素ガス浄化装置 PS3-MT3 Series

研究はガスの浄化が半導体デバイスの製造のための一貫した、反復可能なプロセス性能を保障することを示した。使用浄化のポイントは家のガスの配分組織からの重大なプロセス区域を隔離し、ガス純度の混乱およびクロス汚染から保護する。 MonoTorrの清浄器は流動度の5までslpmで窒素および希ガス類に必要な浄化を提供する。