酸素ガス浄化装置 MicroTorr Series
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特徴
- ガスの種類
- 酸素
詳細
除去される不純物には、H2O、CO、CO2、O2、H2、NMHC、酸、塩基、有機物、耐火性化合物が含まれます。 これらのガス中の不純物は、ほとんどの場合、10 億あたり1 部未満に減少します。
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