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XYZ配置システム / リニア / 真空

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XYZ配置システム XYZ配置システム
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特徴

  • 軸の数:

    XYZ

  • 構造:

    リニア

  • 応用:

    真空

詳細

EUV、ガス抜け、ポンプ時間、安定性、磁気撹乱は、真空システムのレイアウトにあたって考慮する主なパラメーターです。これらのパラメーターは、厳しい環境・性能条件下においてモーションソリューションを完全なものとする他のあらゆる関連パラメーターとともに考慮されます。

当社のシステムは、特に10^9mbar までの分圧下において動作するように開発され、リニアモーター (シールドを含む) から圧電素子により駆動するユニットや特殊ケーブルまでのコンポーネントを統合しています。

関連するすべての機械加工部品 (アルミニウムおよび/または SUS) を内製しており、清浄度とガス抜けのレベルが完璧に制御できるようにしています。

すべての真空システムは、当社のクリーンルームで組立、試験、梱包を行っています。クリーンルームは、お客様の生産リズムを十分に満たすように設計されています。

POI* における "真空" 向けの標準仕様
設定:XYZT または + Z (傾き?)
トラベル:最大 400 x 500mm
精度:≤ 10 µm (TIR 超の場合、マップ済み)
再現性:≤ 0.1 µm
安定性:≤ 2 nm (1s ptp 内)
移動および停止:< 120ms (25mm の場合)
Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合)
真直度:< 5um (300mm 超の場合)
平面度:< 5um (300mm 超の場合)