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... コンタリングマシンのワークテーブルでシートワークを自動クランプするシステム 加工中のワークのクランプに使用するバキュームポッドは、マシンサイクルに合わせて制御されるスマートバルブを備えた特殊なテーブルとインターフェースするため、フレキシブルホースを飛ばす必要がありません。 ...
... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...
繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 31, 6 mm
... TRIPOD 52-6DoFは、CLS-52モジュラーシステムと互換性があり、より大型のTRIPOD 92-6DoFと同様に、ティップチルトステージで構成されています。 3つのタレットの配置により、天板のロール・ピッチ運動はΘxが±8.5°、Θyが±9.5°、Z方向は5mmの直線移動が可能です。トッププレートには、SR-3211回転ステージを取り付けるためのスロットがあり、セットアップに第4の自由度を追加することができます。一方、底板はブレッドボードに直接取り付けるか、2つのCLS-52直線DeepLトランスレーションで構成されるXYプラットフォームに取り付けることが可能です。後者の場合、5次元位置決めシステム、またはSR-3211と合わせて6次元位置決めシステムを構築することができます。 メカニカル 移動量[mm] ...
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 6, 31 mm
... 大きい方のTRIPODはCLS-92 Modular Systemと互換性があります。 チップチルトステージは、この位置決めシステムの中核となる部品です。3つのタレットの配置により、天板のロール・ピッチ運動はΘxが±13°、Θyが±15°、Z方向の直線移動は10mmの範囲で可能です。また、トッププレートにはSR-4011回転ステージを取り付けるためのスロットがあり、セットアップに第4の自由度を追加することができます。一方、底板はブレッドボードに直接取り付けるか、2つのCLS-92直線DeepLトランスレーションで構成されるXYプラットフォームを使用することができます。後者の場合、5次元位置決めシステム、またはSR-4011と合わせて6次元位置決めシステムを構築することができます。 メカニカル 移動量[mm] ...
EUV、ガス抜け、ポンプ時間、安定性、磁気撹乱は、真空システムのレイアウトにあたって考慮する主なパラメーターです。これらのパラメーターは、厳しい環境・性能条件下においてモーションソリューションを完全なものとする他のあらゆる関連パラメーターとともに考慮されます。 当社のシステムは、特に10^9mbar までの分圧下において動作するように開発され、リニアモーター (シールドを含む) から圧電素子により駆動するユニットや特殊ケーブルまでのコンポーネントを統合しています。 関連するすべての機械加工部品 ...
... 精密ボールスクリューを備えた薄型の電動アクチュエータは、非常にコンパクトで薄型ユニットで1ミクロンの卓越した精度、再現性、および超微細位置決め分解能を提供します。 これらのデバイスは、光学、レーザー用途、真空動作などのスペースクリティカルなアプリケーションに最適です。 ...
... 高速3軸UHVシステム LA80-LA90 UV / UHV / EUV、最大移動量500 mm。500 mm移動、2 µm繰り返し精度、5 kg負荷 超高真空での精密・高速・長寿命なアプリケーションに適した高速搬送ステージです。また、非常に低いエミッションと低いパーティクル数により、極端な紫外線下での使用要件にも適合しています。軸のサイズはLA80、LA95、LA170で、垂直動作で最大20kgまでの荷重に対応するよう設計されています。この軸の組み合わせは、Paul ...
... 8ステーション半導体ウェーハインデクサ このシステムは、高温での2インチまたは3インチの半導体ウェーハのイオンビーム加工用に特別に設計されました。 これは、高精度 DC 電源と索引付けシステムを備えた卓上炉で構成されています。索引付けシステムは、ウェーハの位置を正確に制御し、実行ごとに8つのウェーハのバッチ処理を可能にします。 ウェーハはヒーターに回転し、イオンビーム加工が開始する前に数秒で加熱されます。 温度は、加熱されたウェーハの表面温度を読み取る光学式高温計によって制御されます。 ...
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