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... EUV、ガス抜け、ポンプ時間、安定性、磁気撹乱は、真空システムのレイアウトにあたって考慮する主なパラメーターです。これらのパラメーターは、厳しい環境・性能条件下においてモーションソリューションを完全なものとする他のあらゆる関連パラメーターとともに考慮されます。 当社のシステムは、特に10^9mbar までの分圧下において動作するように開発され、リニアモーター (シールドを含む) から圧電素子により駆動するユニットや特殊ケーブルまでのコンポーネントを統合しています。 関連するすべての機械加工部品 ...
... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU Technologyは2011年に設立されたリニアロボットメーカーです。 国家ハイテク企業として、6つの発明特許、実用新案、外観特許、76のソフトウェア著作権を含む82の知的財産権が認可されている。 多軸位置決めシステムは、ストローク、精度、速度、負荷容量をカスタマイズするための複数のリニアモジュールで構成することができます。それらは広く医療機器、自動化製品ライン、電子産業などに使用されています。 産業工場として、我々はまた、OEMを受け入れる。機械設計を提供した後、当社のエンジニアは12時間以内に連絡し、リニアガントリーロボットのための最適なソリューションを提案します。 プロフェッショナルなサービスを得るために、我々はあなたのためにいくつかの質問があります、 お問い合わせの際にお答えください： 1.どのようなマシンでステージを使用しますか？ 2.どのくらいのストロークが必要ですか：X=？Y=?Z=? 3.必要な負荷と速度は？ 4.モーターと付属品は一緒に必要ですか？ OEMや他の要件が必要な場合は、あまりにも私たちに教えてください。 ...
繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU Technologyは2011年に設立されたリニアロボットメーカーです。 国家ハイテク企業として、6つの発明特許、実用新案、外観特許、76のソフトウェア著作権を含む82の知的財産権が認可されている。 多軸位置決めシステムは、ストローク、精度、速度、負荷容量をカスタマイズするための複数のリニアモジュールで構成することができます。それらは広く医療機器、自動化製品ライン、電子産業などに使用されています。 産業工場として、我々はまた、OEMを受け入れる。機械設計を提供した後、当社のエンジニアは12時間以内に連絡し、リニアガントリーロボットのための最適なソリューションを提案します。 プロフェッショナルなサービスを得るために、我々はあなたのためにいくつかの質問があります、 お問い合わせの際にお答えください： 1.どのようなマシンでステージを使用しますか？ 2.どのくらいのストロークが必要ですか：X=？Y=?Z=? 3.必要な負荷と速度は？ 4.モーターと付属品は一緒に必要ですか？ OEMや他の要件が必要な場合は、あまりにも私たちに教えてください。 ...
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 31, 6 mm
... TRIPOD 52-6DoFモーションシステムは6自由度を持ち、SMARSLIDE高精度ピエゾポジショナーを使用しています。 TRIPOD 52-6DoFの中心的なコンポーネントは、TRIPOD 52-Coreパラレルキネマティックティルトステージです。3つのタワーが放射状に配置されたデザインにより、トッププレートのロールおよびピッチモーションが可能で、Rx方向に20°、Rx方向に19°、Z方向に6mmの直線移動ができます。TRIPOD52-Coreの上部にはSR-3211回転ステージがあり、Z軸を中心とした無制限の回転が可能です。TRIPOD ...
繰返し精度: 50 nm
ストローク: 31, 6 mm
... 大きい方のTRIPOD 92-6DoFモーションシステムは6自由度を持ち、SMARSLIDE高精度ピエゾステージを使用し、CLS-92モジュラーシステムとも完全な互換性があります。 TRIPOD 92-6DoFの中心的なコンポーネントはTRIPOD 92-Coreパラレルキネマティックティルトステージです。3つのタワーが放射状に配置された設計により、Rx方向に31°、Ry方向に27°、Z方向に11mmの直線移動が可能です。TRIPOD 92-Coreの上部にはSR-5714C回転ステージがあり、Z軸を中心に無制限に回転することができます。TRIPOD ...
... 精密ボールスクリューを備えた薄型の電動アクチュエータは、非常にコンパクトで薄型ユニットで1ミクロンの卓越した精度、再現性、および超微細位置決め分解能を提供します。 これらのデバイスは、光学、レーザー用途、真空動作などのスペースクリティカルなアプリケーションに最適です。 ...
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 650, 205 mm
... CHARON2は、最も人気のあるモーションシステムプラットフォームです。モジュール性とスケーラビリティを念頭に設計された、堅牢で信頼性の高いスタックドアーキテクチャにより、多くのターンキーモーションソリューションのためのコスト効率の高いエントリーポイントとして認識されています。 CHARON2ファミリーは、1つのX軸から完全な6自由度（DOF）モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。当社の標準エレクトロニクスから選択することにより、CHARON2システムは、ターゲット仕様に最適な性能でスケーラブルになります。 3,000以上のステージが稼動しているCHARON2は、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースに対応しています。 その±1 ...
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 0 g - 5,000 g
ストローク: 10 mm
... MAUKAは、サブミクロンの分解能で最大5kgのペイロードを位置決めするために設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 MAUKAヘキサポッドの移動範囲は、XとYで10mm、Zで20mm、3回転で16°です。直径は107mmで、中間位置での高さは198mmです。 直径を最小にするため、モーターを一列に取り付けたヘキサグライド形状を採用した。 MAUKAヘキサポッドは、垂直、水平、その他どの方向にも動作します。停電後も元に戻りません。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびに原点復帰コマンドを実行する必要はありません。 ...
SYMETRIE
... 高速3軸UHVシステム LA80-LA90 UV / UHV / EUV、最大移動量500 mm。500 mm移動、2 µm繰り返し精度、5 kg負荷 超高真空での精密・高速・長寿命なアプリケーションに適した高速搬送ステージです。また、非常に低いエミッションと低いパーティクル数により、極端な紫外線下での使用要件にも適合しています。軸のサイズはLA80、LA95、LA170で、垂直動作で最大20kgまでの荷重に対応するよう設計されています。この軸の組み合わせは、Paul Scherrer Institut（PSI）の「tOMography ...
... 8ステーション半導体ウェーハインデクサ このシステムは、高温での2インチまたは3インチの半導体ウェーハのイオンビーム加工用に特別に設計されました。 これは、高精度 DC 電源と索引付けシステムを備えた卓上炉で構成されています。索引付けシステムは、ウェーハの位置を正確に制御し、実行ごとに8つのウェーハのバッチ処理を可能にします。 ウェーハはヒーターに回転し、イオンビーム加工が開始する前に数秒で加熱されます。 温度は、加熱されたウェーハの表面温度を読み取る光学式高温計によって制御されます。 大きなアクセスポートにより、イオンビーム計測器の取り付けが可能です。 ...