マイクロ配置システム

繰返し精度: 1.5, 0.4, 0.75, 0.15 µm
積載量: 7.5, 2 kg
ストローク: 40, 16 mm

... 当社のHexGen® HEX150-140HLは、コンパクトでありながら剛性の高いプラットフォームで、一貫した信頼性の高い6自由度（DOF）モーションを提供します。超微細な位置決め分解能、十分な可搬質量、高いプロセススループットなどのメリットを享受できます。HEX150-140HLは、パワフルなモーションコントローラとの柔軟な統合と直感的な操作が可能で、スペースが限られている複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。 -コンパクトなサイズと十分な可動域により、複雑なアプリケーションに簡単に組み込むことができます。 -7.5kgまでの高可搬質量に対応し、100Nまでのバックドライブに耐えます。 -当社のコントローラを使用して、他のモーション軸（サーボ、ステッパー、ピエゾ、その他）とコーディネートできます。 -簡単で便利なピボットポイント調整 -強力な制御および視覚化ソフトウェアとの組み合わせ HEX150-140HLは、スペースに制約があり、微細な位置決め分解能を必要とする多自由度のアプリケーションに最適です： -フォトニックデバイスのマニピュレーション、アライメント、パッケージング -光学検査とアライメント -光学ウエハのプロービング -航空宇宙・衛星センサー試験 -シンクロトロン＆ビームライン・サンプル・マニピュレーション ...