ナノ配置システム

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6 軸ナノ配置システム
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 70.42

... 小型化されたSMARPOD 70.42は、そのサイズにもかかわらず、最大5Nのペイロードを扱うことができます。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmのスマーアクト最小のヘキサポッド型ポジショニングシステムです。そのコンパクトさにもかかわらず、堅牢で精密なシステムであり、最大5Nの可搬重量をX、Y方向にセンチメートル単位の移動量で位置決めすることができます。 また、高真空や超高真空に対応したバージョンもあり、完全な非磁性体で構築することができます。 メカニカル トラベル ...

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SmarAct GmbH
6 軸ナノ配置システム
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 110.45

... 中型の「SMARPOD 110.45」は、6DoFで5Nまでのペイロードの位置決めが可能です。 SMARPOD 110.45は、中型のヘキサポッド型位置決めシステムです。移動範囲が広いため、汎用性が高いのが特徴です。オプションとして、ベースプレートにツール、コンポーネント、センサーなどを取り付けることができます。これにより、位置決めシステムは、精密なアライメントを必要とするマイクロアセンブリなどのアプリケーションのコアデバイスになります。 110.45は、他のSmarAct ...

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SmarAct GmbH
6 軸ナノ配置システム
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 225.75

... SMARPOD 225.75は、洗練されたパラレルキネマティック設計に基づいており、最大10Nのペイロードを扱うことができます。 スマーポド225.75は、スマーポドの中でも特に大型で、X、Y方向に40mm以上の大きな移動範囲を持っています。オプションとして、ベースプレートには、ツールやセンサーなどの部品をスマーポドの移動プラットフォームの近くに設置するためのマウントポストを取り付けることができます。 225.75は、他のスマーポドと同様に、高真空、超高真空、完全非磁性体のいずれかのバージョンをご用意しています。 メカニカル 移動量 ...

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6 軸ナノ配置システム
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD P-SLC-17

... SLC-17ステージをベースにした平行配向の中型SMARPODで、最大5Nのペイロードを位置決めすることが可能です。 SMARPOD P-SLC-17は、水平に取り付けられたステージの向きに関して、異なる機械設計に基づいています。ほぼ同じサイズの円形SMARPODと比較すると、P-SLC-17は円形設計で利用可能な開口部を省いて、はるかに大きな移動範囲を提供します。 SLC-17シリーズのステージをベースにしたSMARPOD P-SLC-17は、高真空バージョンと超高真空バージョン、さらに完全非磁性材料で作られたバージョンもあります。 メカニカル 移動量 ...

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6 軸ナノ配置システム
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SMARPOD P-SLC-24

... 中型のSMARPOD P-SLC-24は、洗練されたパラレル・キネマティック設計に基づき、最大10Nの可搬重量を扱うことができます。 SMARPOD P-SLC-24は、SLC-24リニアステージを直交方向に使用し、大きな移動範囲を確保しながら、比較的小さな設置面積を維持しています。P-SLC-24は、高可搬質量に対応する能力と長い移動範囲により、最も汎用性の高い多軸位置決めシステムの1つです。SLC-24シリーズのステージをベースにしているため、高さおよび超高さにも対応可能です。 真空対応バージョンです。また、用途に応じて完全非磁性材料で製作することも可能です。 メカニカル 移動量 ...

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6 軸ナノ配置システム
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SMARPOD P-SLL

... SMARPOD P-SLLは、SLLシリーズのキャリッジを3台使用し、長い移動距離を実現しています。 SMARPOD P-SLLは、Y方向の移動にSLCステージ、X方向の移動にSLLステージを採用しています。この異なるリニアステージの組み合わせにより、P-SLLはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向で最大1200mmという非常に大きな移動範囲を実現しています。また、高真空対応バージョンも用意しています。 メカニカル 移動量 [mm] - 20 ...20 ...

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単軸ナノ配置システム
単軸ナノ配置システム
P-630 series

... 3.25 kHz の共振周波数 トラベル範囲 80 µm の 狭くて平坦な設計 PICMA® ピエゾアクチュエータにより、直径 30 mm の明確な開口が卓越した寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 ...

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Physik Instrumente
XY軸ナノ配置システム
XY軸ナノ配置システム
P-750 series

... -1nm 横方向ガイド精度 -摩擦のない高精度フレクチャーガイドシステム -10kgまでの負荷容量 -分解能 < 1nm -最高の精度のための静電容量式センサによる 直接測定-高速応答のための直接駆動 -トラベル範囲 75µm -PICMA® ピエゾによる卓越した寿命 アクチュエータ ...

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Physik Instrumente
XY軸ナノ配置システム
XY軸ナノ配置システム
P-763

... 走行距離 200 µm 静電容量式センサーによる高い位置安定性と分解能 70 mm 側長の小型フットプリント 大クリア絞り 30 mm × 30 mm 精密クラスナノポジショニングシステム 2 軸、シリアルキネマティクス。 メカニカルレバー・モーション・アンプを備えた摩擦のないフレクチャ・ジョイント。 最大の安定性と直線性を実現する静電容量式ポジションセンサ PICMA® 高性能ピエゾドライブ 全セラミック絶縁体を備えたピエゾセラミックアクチュエータ。 耐用年数が長く、耐湿性、動作温度が80 ...

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コンパクトナノ配置システム
コンパクトナノ配置システム
P-612.2 series

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