ナノ配置システム

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 6 mm

... 小型サイズのSMARPOD 70.42は、ベースプレート直径わずか70mm、重量わずか200gの最もコンパクトなシステムです。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmという最小の六脚型モーションシステムです。その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nの可搬重量をXとYに11 mmの移動範囲で位置決めできる、堅牢で精密なシステムです。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット・ポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズの違いにより大きくなる場合があります。詳細については、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 20 mm

... 中型のSMARPOD 110.45は、ベースプレートの直径が110 mmで、X方向とY方向に20 mmの移動が可能です。 SMARPOD 110.45は、最大5 Nの可搬重量を位置決めでき、X方向とY方向に20 mmの移動が可能です。SMARPOD 110.45のベースプレートには、ツール、コンポーネント、センサー用のマウンティングポストを取り付けることができ、システムをマイクロアセンブリや精密なアライメントを必要とするその他のアプリケーションのための重要なツールに変えることができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75のベースプレート直径は225 mmで、XおよびY方向に42 mmの移動が可能です。 SMARPOD225.75は、最大5 Nの可搬重量を扱うことができます。SmarAct SMARPODの中では大型の部類に入り、移動範囲はX方向とY方向に42 mm、Z方向に24 mmです。オプションとして、ベースプレートには、SMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを配置するための取り付けポストを装備できます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 30, 50, 10 mm

... この中型SMARPODは、SLC-17ステージをベースとした平行オリエンテーションで、X方向に50mmのトラベルを提供します。 SMARPOD P-SLC-17は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-17はX方向に50mmと非常に大きな移動量を提供します。 回転トラベルの値は、トッププレートの表面にピボットポイントがある場合の値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 17, 102, 62 mm

... 大型のSMARPODは、X方向に102mmの大きな移動量を提供する平行配向のSLC-24ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができ、円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-24はX方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 ...

繰返し精度: 100 nm
ストローク: 17, 62, 330 mm

... 大型のSMARPODは、X方向に330mmという非常に大きな移動範囲を提供するCLLシリーズの3つのキャリッジを使用しています。 SMARPOD P-CLLは、Y方向の移動にSLCポジショナを使用し、X方向にはCLLステージを使用します。この異なるリニアステージの特殊な組み合わせにより、P-CLLはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向に最大1200mmという非常に大きな移動範囲を必要に応じて提供します。 回転移動量の値は、トッププレート表面でのピボットポイントに対して与えられています。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 ...

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... AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲：表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御：3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - ...