ナノ配置システム

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1軸ナノ配置システム / 圧電性 / マルチファンクション
1軸ナノ配置システム
P-630 series

... 3.25 kHz の共振周波数 トラベル範囲 80 µm の 狭くて平坦な設計 PICMA® ピエゾアクチュエータにより、直径 30 mm の明確な開口が卓越した寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 ...

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Physik Instrumente
XYナノ配置システム / リニア / 圧電性
XYナノ配置システム
P-750 series

... -1nm 横方向ガイド精度 -摩擦のない高精度フレクチャーガイドシステム -10kgまでの負荷容量 -分解能 < 1nm -最高の精度のための静電容量式センサによる 直接測定-高速応答のための直接駆動 -トラベル範囲 75µm -PICMA® ピエゾによる卓越した寿命 アクチュエータ ...

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Physik Instrumente
XYナノ配置システム / 圧電性 / 小型
XYナノ配置システム
P-763

... 走行距離 200 µm 静電容量式センサーによる高い位置安定性と分解能 70 mm 側長の小型フットプリント 大クリア絞り 30 mm × 30 mm 精密クラスナノポジショニングシステム 2 軸、シリアルキネマティクス。 メカニカルレバー・モーション・アンプを備えた摩擦のないフレクチャ・ジョイント。 最大の安定性と直線性を実現する静電容量式ポジションセンサ PICMA® 高性能ピエゾドライブ 全セラミック絶縁体を備えたピエゾセラミックアクチュエータ。 耐用年数が長く、耐湿性、動作温度が80 ...

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Physik Instrumente
小型ナノ配置システム / XY / 圧電性 / パラレル キネマティクス付
小型ナノ配置システム
P-612.2 series

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Physik Instrumente
6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付 / 高真空
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 70.42

... SMARPOD 70.42 小型サイズにもかかわらず、小型化されたSMARPOD 70.42は、最大5Nのペイロードを処理することができます。 SMARPOD 70.42は、ベースプレート直径がわずか70mmのSmarAct の最小の六脚状ポジショニングシステムです。 その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nのペイロードを処理できる堅牢で正確なシステムであり、XおよびYのセンチメートルのトラベル範囲で配置できます。 また、高真空および超高真空互換バージョンも用意されており、完全に非磁性材料から構築できます。 ...

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SmarAct GmbH
6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付 / 高真空
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 110.45

... SMARPOD 110.45 中型SMARPOD 110.45は、6DoFで最大5Nのペイロードを配置することができます。 SMARPOD 110.45は、中型の六脚に似た位置決めシステムです。 その大きな旅行範囲のために、それは非常に汎用性があります。 オプションで、ベースプレートには、ツール、コンポーネント、またはセンサー用の取り付けポストを装備し、マイクロアセンブリおよび正確なアライメントを含むその他のアプリケーション用の位置決めシステムをコアデバイスに変換します。 ...

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6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付 / 高真空
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD 225.75

... SMARPOD 225.75 SMARPOD 225.75は、洗練されたパラレルキネマティック設計に基づいており、最大10Nのペイロードを処理できます。 SMARPOD 225.75は、XとYで40mmを超える広いトラベル範囲を提供するSmarAct SMARPODの1つです。オプションとして、ベースプレートにマウントを装備することができます。SMARPODの可動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを配置するためのポスト。 他のSmarAct ...

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SmarAct GmbH
6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付 / 小型
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD P-SLC-17

... SMARPOD P-SLC-17 パラレル方向のSLC-17ステージをベースにした中型SMARPODで、最大5Nのペイロードを配置することができます。 SMARPOD P-SLC-17は、水平に取り付けられたステージの向きに関して異なる機械的設計に基づいています。 ほぼ同じサイズの円形SMARPODと比較して、P-SLC-17は、円形設計で利用可能な開口部の分配においてはるかに広い移動範囲を提供します。 SLC-17シリーズステージをベースにしたSMARPOD ...

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6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付 / 小型
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD P-SLC-24

... SMARPOD P-SLC-24 中型SMARPOD P-SLC-24は、洗練されたパラレルキネマティック設計に基づいており、最大10Nのペイロードを処理することができます。 スマラクトのSMARPOD P-SLC-24は、SLC-24リニアステージを直交方向で利用し、大きな移動範囲を可能にし、比較的小さいフットプリント。 P-SLC-24は、高いペイロードと長い移動範囲を処理する能力により、最も汎用性の高い多軸測位システムの1つです。 SLC-24シリーズステージをベースにしており、高真空および超高 真空互換バージョンとしても入手可能です。 ...

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6 軸ナノ配置システム / 6脚 / パラレル キネマティクス付
6 軸ナノ配置システム
SMARPOD P-SLL

... SMARPOD P-SLL SMARPOD P-SLLは、SLLシリーズの3つのキャリッジを活用し、長距離走行距離を実現します。 SMARPOD P-SLLは、Y方向の移動のためのSLCステージと、X方向のSLLステージに基づいています。 このような異なるリニアステージの組み合わせにより、P-SLLは最大1200mmのX方向で非常に大きな移動範囲を提供すると同時に、Y方向の小さなフットプリントを維持します。 また、高真空互換バージョンとして入手可能です。 トラベル ...

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3軸ナノ配置システム / 三脚 / ウェハー検査および計測学用 / パラレル キネマティクス付
3軸ナノ配置システム

... ALIO 3 軸特許取得済みの三脚は、ALIOs ナノ精密ステージに統合されたセラミックサーボモーターを搭載し、動きと運動学的な観点からHexapodプラットフォームのすべての利点を持ち、剛性、作業エンベロープ、パス精度、およびTrue Nano™ に大きな利点があります。 アプリケーションを使用します。 製品ファミリは、150グラムの質量から10kgまたは質量の範囲である。 ナノ製造は過去 15 年間、すべてのツールと製品に影響を与えてきましたが、特に過去 ...