ナノ配置システム

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 6, 11 mm

... 小型サイズのSMARPOD 70.42は、ベースプレート直径わずか70mm、重量わずか200gの最もコンパクトなシステムです。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmという最小の六脚型モーションシステムです。その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nの可搬重量をXとYに11 mmの移動範囲で位置決めできる、堅牢で精密なシステムです。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット・ポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズの違いにより大きくなる場合があります。詳細については、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 20 mm

... 中型のSMARPOD 110.45は、ベースプレートの直径が110 mmで、X方向とY方向に20 mmの移動が可能です。 SMARPOD 110.45は、最大5 Nの可搬重量を位置決めでき、X方向とY方向に20 mmの移動が可能です。SMARPOD 110.45のベースプレートには、ツール、コンポーネント、センサー用のマウンティングポストを取り付けることができ、システムをマイクロアセンブリや精密なアライメントを必要とするその他のアプリケーションのための重要なツールに変えることができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75のベースプレート直径は225 mmで、XおよびY方向に42 mmの移動が可能です。 SMARPOD 225.75は、最大5 Nの可搬重量を扱うことができます。SmarAct SMARPODの中でも大型の部類に入り、移動範囲はX、Y方向に42 mm、Z方向に24 mmです。オプションとして、ベースプレートには、SMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを配置するための取り付けポストを装備できます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 30, 50, 10 mm

... この中型SMARPODはSLC-17ステージをベースにした平行オリエンテーションで、X方向に50mmのトラベルを提供します。 SMARPOD P-SLC-17は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-17はX方向に50mmと非常に大きな移動量を提供します。 回転トラベルの値は、トッププレートの表面にピボットポイントがある場合の値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 仕様 トラベル ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 62, 102, 17 mm

... 大型のSMARPODは、X方向に102mmの大きな移動量を提供する平行配向のSLC-24ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。ほぼ同じサイズのP-SLC-24は、X方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 仕様 トラベル ...

繰返し精度: 100 nm
ストローク: 17, 62, 330 mm

... 大型のSMARPODは、X方向に330mmという非常に大きな移動範囲を提供するCLLシリーズの3つのキャリッジを使用しています。 SMARPOD P-CLL-CLSは、Y方向の移動にCLSポジショナを使用し、X方向にはCLLステージを使用します。この異なるリニアステージの組み合わせにより、P-CLL-CLSはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向の移動範囲を最大1200mmまで拡大することができます。SMARPOD P-CLL-CLSには交換可能なドライブユニット（EDU）が装備されており、位置決めシステムを完全に分解することなく、ピエゾドライブを簡単かつ迅速に交換することができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル ...

... 卓越した性能 1nm分解能のフルエンコード アクティブな位置保持 広いスキャンレンジと低サマルドリフト 30 x 30 mmの大面積プロービングが可能 EBAC/EBICの高速イメージング 効率的で簡単 オールインワンのユーザーインターフェース すべてのプローブの自動ランディングとアライメント SEM画像内の "ポイント＆クリック "ナビゲーション グループ移動と "ステップ＆リピート" 試料とプローブのCADナビゲーション ...

... ナノメートル精度で物体と構造を位置決め、操作、加工、測定 - 世界で最も精密なナノ位置決めおよびナノ計測装置 - 測定および位置決め範囲 25 x 25 x 5 mm - 分解能0.1 nm - 最高精度の3次元位置決め測定システム - レーザーフォーカスセンサー、原子間力顕微鏡、白色光センサー、3Dマイクロスキャナーなどのプロービングシステム - オープンデバイスアーキテクチャーにより、カスタマイズされたセンサーの適用が可能 - NMM-1はPCソフトウェアで制御。ユーザーAPIが利用可能です。 三次元座標測定用のナノ位置決めおよびナノ測定機は、25 ...

... AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲：表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御：3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - NPP-1はPCソフトウェアで制御されます。ユーザーAPIが利用可能です。 NPP-1ナノ計測・位置決めプラットフォームは、約100mmの範囲での位置決めを可能にします。制御に使用されるレーザー干渉計の高分解能、位置決めアノードルングの高剛性アーキテクチャ、位置決めシステムのエアベアリング軸、および最適化された制御システムにより、位置偏差とパスの忠実度は2 ...