6 軸ナノ配置システム SMARPOD 70.426脚パラレル キネマティクス付高真空

6 軸ナノ配置システム
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参考価格 

特徴

軸の数
6 軸
構造
6脚
その他の特徴
パラレル キネマティクス付, 高真空

詳細

SMARPOD 70.42 小型サイズにもかかわらず、小型化されたSMARPOD 70.42は、最大5Nのペイロードを処理することができます。 SMARPOD 70.42は、ベースプレート直径がわずか70mmのSmarAct の最小の六脚状ポジショニングシステムです。 その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nのペイロードを処理できる堅牢で正確なシステムであり、XおよびYのセンチメートルのトラベル範囲で配置できます。 また、高真空および超高真空互換バージョンも用意されており、完全に非磁性材料から構築できます。 トラベル [ミリメートル] 10 (X); 10 (Y); 5 (Z) トラベル [14 (x); 16 (y); 28 (z) 最大. 垂直荷重 [N] 5 最大 水平荷重 [N] 2.5 寸法 [mm] Ø 70 地上上のプラットフォームの高さ [mm ] 42 重量 [g] 300 閉ループ センサタイプS; SC 最小増分 [nm] 1 最小増分 [μrad] 1 閉ループ繰り返し性 [nm] < ±200 (全移動範囲); < ±15 (1mm リニアトラベル) クローズドループ繰り返し性 [μrad] < ±10 オプション 真空オプション HV (1E-6 mbar); UHV/UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプションあり (-NM)

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240 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。