多軸ナノ配置システム SMARPOD 70.42

6脚パラレル キネマティクス付スマート

小型サイズのSMARPOD 70.42は、ベースプレート直径わずか70mm、重量わずか200gの最もコンパクトなシステムです。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmという最小の六脚型モーションシステムです。その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nの可搬重量をXとYに11 mmの移動範囲で位置決めできる、堅牢で精密なシステムです。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット・ポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズの違いにより大きくなる場合があります。詳細については、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル [ - 22 (Θx); 23 (Θy); 31 (Θz) 最大法線力 [N] - 5 最大水平力水平力 [N] - 2.5 寸法 ベースプレート[mm] - Ø 70 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 42 重量 [g] - 200 クローズドループ センサータイプ - SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μ - 3 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 50 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)