圧電ポジショニングステージ

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縦型ポジショニングステージ / 傾斜 / 圧電 / 3軸
縦型ポジショニングステージ
P-518, P-528, P-558 series

ストローク: 50 mm - 240 mm

... Zおよびチップ/チルトステージは3軸/Zステージで1軸の クローズドループ垂直/チルト範囲は200µm/2mradまで(オープンループ240µm/2.4mradまで) 並列キネマティクスにより応答時間の短縮と多軸精度の向上 ゼロプレイ、高精度フレクチャーガイドシステム PICMA® による優れた寿命 ピエゾアクチュエータ クリアアパーチャ66mm × 66mm 静電容量式センサによる最高の直線性 PICMA® ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 PICMA® ...

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Physik Instrumente
XYZポジショニングステージ / 圧電 / 6 軸 / 高精度
XYZポジショニングステージ
P-587

ストローク: 200, 800 µm

... -X、Y、Z、θX、θY、θZ -800 µm × 800 µm × 200 µmのリニアレンジ -最大 1mradの回転角度 -応答性と多軸精度の向上:パラレルキネマティクス/計測 -最高の直線性を実現する静電容量式センサ による直接計測-優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータ -摩擦なし、高精度フレクチャーガイドシステム - アプリケーション 干渉測定の6つの自由度分野でアクティブな軌道制御 メトロロジー ナノインプリンティング 半導体テスト 容量式サブナノメータ分解能 ...

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Physik Instrumente
Z軸ポジショニングステージ / 圧電 / 顕微鏡レンズ用 / 摩擦なし誘導
Z軸ポジショニングステージ
PD72Z1x PIFOC® series

ストローク: 100 µm

... デジタルコントローラ、ソフトウェア、およびオプションのQuickLockスレッドアダプタ USB、RS-232、アナログインターフェイスを 備えた完全なシステムトラベル範囲 100 µm サブnm 解像度 ゼロプレイ、高精度フレクチャーガイドシステム 静電容量式センサによる直接位置測定 MetaMorph、µManager、MATLABに対応 すべてのサーボ制御パラメータが動作中に変更可能 アプリケーション分野 顕微鏡 共焦点顕微鏡 3Dイメージング スクリーニング オートフォーカスシステム 表面分析 ウェーハ検査 直接位置による最高精度 ...

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Physik Instrumente
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 小型 / 精密
リニアポジショニングステージ
FB Series

ストローク: 20 mm - 300 mm

... ナノモーションFBシリーズリニアステージは、高精度リニアモーションのためのコンパクトなフットプリントを提供します。 ダイレクトドライブモータは、シンプルで堅牢な構造を備えています。 FBステージは、幅広いスライドサイズ、走行距離、モーターサイズで多軸で簡単に設定でき、10nmまでの解像度に合わせて光学エンコーダを使用して設定できます。 ...

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Johnson Electric/ジョンソン エレクトリック
XYポジショニングステージ / 圧電 / 2軸 / 小型
XYポジショニングステージ

ストローク: 150 µm - 300 µm

... XY300M-SGステージには、各軸にひずみゲージ(SG)ポジショニングセンサ、PCBに組み込まれたSGコンディショナが含まれています。 軸ごとのXY300M-SGステージ変位は、-40°C~+65°Cの温度範囲で有効です。図は、以下のインターフェース制御文書に記載されていない金属カバーオプションを備えたXY300M-SGステージを示しています。 ...

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CEDRAT TECHNOLOGIES
XYポジショニングステージ / 圧電 / 2軸 / 小型
XYポジショニングステージ
XY25XS

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CEDRAT TECHNOLOGIES
XYポジショニングステージ / 圧電 / 2軸
XYポジショニングステージ
XY200M

ストローク: 0 mm - 200 mm

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CEDRAT TECHNOLOGIES
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / マルチ軸
リニアポジショニングステージ
SLS-3232

ストローク: 21 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-3232 リニアステージの最小は、わずか32 x 32 mm²のフットプリントと21mmのトラベル範囲を提供し、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムに簡単に統合できるように一貫して設計されました。は、当社の回転ステージまたは他のSLSまたはMLSリニアステージを取り付けるために完璧にマッチしています。 これらは、モジュール性と簡単な構成がトップレベルの要件である場合に最適なオプションです。 トラベル ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / 精密
リニアポジショニングステージ
SLS-3252

ストローク: 31 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-3252 SLS-32シリーズの中間サイズステージは、31mmの移動範囲を提供し、わずか32 x 52 mm²のフットプリントを維持し、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムに簡単に統合できるように一貫して設計されました。取付穴パターンは、当社の回転ステージまたはSLS、DLS、MLSシリーズの他のリニアステージを取り付けるために完璧にマッチしています。 これらは、モジュール性と簡単な構成がトップレベルの要件である場合に最適なオプションです。 ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / 閉ループ
リニアポジショニングステージ
SLS-5252

ストローク: 31 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-5252 SLS-52リニアステージの中で最も小さいステージは、52×52mm²のフットプリント、31mmのトラベル範囲、直径9mmのアパーチャを提供します。 さらに、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムへの容易な統合を可能にするように一貫して設計されました。それらの取り付け穴パターンは、SLS、MLS、DLSシリーズの線形他のステージと当社の回転をマウントするために完全に一致していますステージとゴニオメーター。 ...

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SmarAct GmbH
回転ポジショニングステージ / 圧電 / マルチ軸 / 閉ループ
回転ポジショニングステージ
COR-RS

... ナノメートルおよびサブナノメートルシフトに到達することは容易ではなく、しばしば外乱の存在によって制限されます。このため、Phi Driveの回転テーブルには、ノイズを制限するために特別に開発された電子機器が搭載されており、その堅牢性を高めています。 COR-RSシリーズの全製品に圧電技術とフレクシャー型機構を採用しており、これらの技術を組み合わせることで、高いカスタマイズ性を生かした高性能化を実現しています。 +/- 360°回転 高い角度分解能 カスタマイズ:性能と寸法 クローズドループ制御 高真空レイアウトが可能 液体環境での作業 多軸システムのためのモジュラーソリューション ...

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COMESTERO SISTEMI
回転ポジショニングステージ / 圧電 / 精密 / ミニチュア
回転ポジショニングステージ
8DRIVE

... 圧電材料は高精度位置決めとモーションコントロールの世界に革命を起こしました。Phi Driveはこれらの材料を使用して、制御されたローターの変形を発生させることができるアクチュエータを開発しました。 Phi Drive社のアクチュエータは、サブナノメートルの伸び、高周波数、力の特性という重要な原理に基づいて作られています。設計の柔軟性により、性能を犠牲にすることなく、お客様のご要望にお応えすることができます。 8 Drive は特許取得済みのアクチュエータで、その特性によりナノラジアンオーダーの高い位置決め精度を実現しています。シンプルな機構の中に複雑なコンセプトがあるため、8Driveは、作業中に温度を一定に保つ必要がある計測やマイクロポジショニングのアプリケーションに適しています。 8 ...

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COMESTERO SISTEMI
回転ポジショニングステージ / 圧電 / カスタム / 精密
回転ポジショニングステージ
AG-HT

... 当社の最後の特許により、Phi Driveは圧電モータの性能を最初に進化させました。基本的なアクチュエータ特性はそのままに、AG HTはトルクを大幅に向上させました。 コンパクトさと高い比トルクの特性により、AG HTは軍事・航空宇宙用途に適しているだけでなく、宇宙用途にも適しています。特定のHTSバージョンは、高真空で動作するように考案され、設計されており、宇宙アプリケーションのためにテストされています。 このデザインは特にカスタマイズに適しています 概要 - ...

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COMESTERO SISTEMI
リニアポジショニングステージ / モーター式 / 圧電 / 単一軸
リニアポジショニングステージ
MS15

ストローク: 10 mm
速度: 1.5 mm/s

... 当社のポートフォリオの中で、22 x 15 mm フットプリントのコンパクトな設計最小の製品を持つ10mm 旅行、 ピエゾ電動慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ。 ...

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mechOnics ag
トランスレーションポジショニングステージ / 圧電 / 小型 / ミニチュア
トランスレーションポジショニングステージ
MS15

ストローク: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s

... 私たちのポートフォリオでは、 圧電慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ15 x 15 mm フットプリントのコンパクト設計最小の製品を持つ3.5mm 旅行。 ...

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mechOnics ag
トランスレーションポジショニングステージ / 圧電 / マルチ軸 / ミニチュア
トランスレーションポジショニングステージ
MS30

ストローク: 8 mm
速度: 1.2 mm/s

... さまざまな応用分野で30 x 30mmのフットプリント で8mmのトラベル。 アダプタプレートなしのオールラウンドなマルチ軸の組み合わせは、 ピエゾ電気慣性駆動を備えたミニチュア変換ステージです。 ...

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mechOnics ag
回転ポジショニングステージ / 圧電 / 高精度 / 小型
回転ポジショニングステージ
XRT-U 30

... XRT-U 30は、超音波ピエゾモータによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステージです。 XRT-U 30を使用すると、空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を、より小さな容積でより低価格で実現できます。 他のピエゾモータ技術と比較して、超音波ピエゾモータは、より長い寿命、ノイズのない動作、低エネルギー消費を保証します。 これにより、XRT-Uは、マイクロCTスキャナ、計測アプリケーション、電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。 ...

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Xeryon
回転ポジショニングステージ / 圧電 / 電動 / 手動式
回転ポジショニングステージ
481 series

... 481高性能回転ステージは、実装部品または1インチ光学系でスムーズな回転を実現し、標準性能の代替品に対する感度と制御性を向上させます。オプションのPRA-05アダプタを使用すると、1/2インチ光学系がサポートされます。 1インチ光学用のねじ口径による正確な回転 感度の向上により、360°を超えるスムーズな平行移動 マイクロメータまたは調整スクリューによる直線駆動移動 直径1/2 インチの光学系を取り付けるためのアダプターが利用可能で、 360°粗い回転-5°微細回転481 ...

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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics/マイクロコントロール
リニアポジショニングステージ / 圧電 / ミラー傾斜
リニアポジショニングステージ
PKS series

... ピエゾシステムのPKS 1は、同社のPKSシリーズミラー傾斜システムの一部です。 直交傾斜軸、広範な共振周波数レベル、コンパクトな設計を特長としています。 真空条件への適応性、1mradの微調整範囲、± 2° の手動オフセット角度率を実現します。 1/2インチおよび1インチミラーのカスタマイズされたモデル構成も可能です。 PKS 1は一般に、レーザー技術プロセス、ビーム整列操作、スキャン装置などを含むアプリケーションに使用されます。 ...

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piezosystem jena GmbH
XYZポジショニングステージ / 圧電 / 真空対応
XYZポジショニングステージ

ストローク: 10, 13 mm

... XYZ ピエゾステージ ピエゾモータ駆動 トラベル 13 x 13 x 10 mm UHV 対応 ...

回転ポジショニングステージ / 圧電 / 1軸
回転ポジショニングステージ
DT105-NM series

リニアポジショニングステージ / XYZ / モーター式 / 圧電
リニアポジショニングステージ
MadMotor™

ストローク: 100 mm

リニアポジショニングステージ / 圧電 / 2軸 / ロングレース用
リニアポジショニングステージ
2000 µm, 0.15 N/µm, 150 V

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DSM
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸
リニアポジショニングステージ

ストローク: 5 mm

圧電ポジショニングステージ / 手動式
圧電ポジショニングステージ
MDE series

... Elliot Gold™ シリーズ 手動アジャスターまたはピエゾアジャスター ピエゾコントローラ MDE120フレキシブルステージには、シンプルな手動アジャスターが搭載されており、3軸のそれぞれに2mmの移動距離で200nmの調整分解能を提供します。 エリオットゴールド™ シリーズXYZフレクスチャステージは、現在エリオットサイエンティフィックの子会社であるマートックデザインが発明し特許を取得した非常に人気のあるオリジナルステージの開発です。 フレクスチャステージは、高精度のデバイス操作に最適です。 ...