- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ LA97圧電単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 真空対応, 摩擦なし誘導, ウェハー運搬用, クロスローラー
- ストローク
最大: 300 mm
(11.811 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 10 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 5 µm
最少: 0.015 µm
- 積載量
最大: 9.8 kg
(21.61 lb)最少: 1.9 kg
(4.19 lb)
詳細
LA97
ナノメートルリニアステージ
用途：スキャニング
利点：ナノメータ位置決め、垂直方向にも対応
特徴：極限の分解能と最高の剛性を備えた位置決め 2（または4）個のモーターを装備可能
- 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲
- 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー
- 潤滑: 10E-8 mbar以下の液体潤滑 / 10E-11 mbar以下の乾式潤滑
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- 磁性、低磁性、磁性なしバージョンあり
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能）
- コントローラー FMC400/450 オプション
技術データ
- トラベル: 100 mm - 300 mm
- 繰り返し精度
± 0.015 µm (一方向)
± 0.02 µm (双方向)
- 荷重： → 98 N / ↑ 58 N
- 最大速度: 10 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ベアリング: クロスローラーベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでフルセラミック
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能： ± 0.1 µm
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