リニアポジショニングステージ KDT300

電動2軸クロスローラー

KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - 10E-11までの潤滑液 - 開口部: 80 x 80 mm - 最大ベークアウト温度:120 オプション - 測定システム付き/なし - オプションでコントローラーFMC400/450付き - 最大 80 mm の移動量、最大 10 kg の荷重に対応 - オプションで、リードスクリュー駆動または潤滑ボールスクリュー駆動による高速移動が可能 - 回転テーブル（DT155など）と組み合わせて回転アプリケーションに使用可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルームISO 14644-1に対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） 技術データ - トラベル：10 mm, 50 mm, 10 mm - 繰り返し精度 - ±2.8µm、±0.7µm、±0.4µm、±2.8µm（一方向） ± 0.5 µm、± 4 µm（双方向 - 荷重： → 44 N / ↑ 120 N - 最大速度： 10 mm/s - モーターステッピングモーター - ベアリング:クロスローラステンレス鋼、ハイブリッド - フィードバックオープンループ、リニアスケール - フィードバック分解能 0.1 µm