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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミクスを実現 - パラレル・キネマティクスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニクス/集積光学系 - リソグラフィー - ナノポジショニング - 走査型顕微鏡 - サンプルアライメント - マイクロマシニング 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 自動構成と高速部品交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 ...
Physik Instrumente
ストローク: 0 mm - 2,860 mm
速度: 1.3 m/s - 1.5 m/s
... - あらゆる用途に対応するドライブシステムとしてフレキシブルに構成可能 - 4種類のサイズを用意し、長さ単位を細かく設定可能 - 高い剛性、位置決め精度、再現性 - 移動範囲全体にわたって高精度の手順動作を実現 - 適切なレックスロスモーターと豊富なアクセサリー ...
ストローク: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s
... GTS高トルクDCモーター直動ステージは、クロスローラーベアリングステージの真直性と平坦性に、上位ステージの改善された精度と再現性を組み合わせたものです。サーフェススキャニング、テスト、キャリブレーション、光学部品のアライメントや取り付け、光遅延線などの用途に高性能なソリューションを提供します。 優れた真直度と平坦度を実現するアンチクリープクロスローラベアリング エンコーダ内蔵により、再現性の高い正確なモーションを実現 低摩擦のボールねじ駆動により、スティックとスリップの影響を最小化 長期的な強度と安定性 プラグアンドプレイ ...
速度: 420, 280 mm/s
... 電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング（微振動）がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する（オープンループの場合）、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。 耐環境性に優れたレゾルバ採用によるクローズドループ制御 モータの位置検出には弊社上位機種と同様、信頼性に定評のあるレゾルバを採用しています。 粉塵やオイルミストなどの悪い環境下でも安定した位置検出が可能です。 また、１回転あたり20480パルスと高い分解能を誇ります。 ...
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 0 m/s - 0.26 m/s
繰返し精度: 0.02 mm - 0.2 mm
... 製品概要
FSK40IS-DL は、ポイントツーポイントの搬送、精密位置決め、検査、ディスペンス用途向けのモータ駆動多軸 XYZ 位置決めステージです。有効ストローク：X 200 mm、Y 200 mm、Z 150 mm。
主な用途シナリオ
- 搬送・トランスファー：小物部品のポイントツーポイント搬送や生産ラインでの材料移送。
- 位置決め・組立：電子機器や小型家電の精密位置決めおよび自動組立。
- 検査・計測：ビジョン検査システムやセンサープローブの基盤となる移動プラットフォーム。
- ディスペンス・コーティング：単純な軌跡を必要とするディスペンス、シール、コーティング作業。
主要製品情報
- シリーズ
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 250 mm/s
... 技術的特徴 FSK40リニアガイドは、半シーラー構造、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、調剤、スプレー塗装、外観検査、移動、把持、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 100 mm
速度: 250 mm/s
... 技術的特徴 FSK40リニアガイドは、半シーラー構造、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、分注、スプレー塗装、外観検査、移動、つかみ、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: ...
FUYU Technology
ストローク: 100 mm
... GCD-501100M電動リニアステージはDaheng Optics社が開発した高精度製品で、高精度グランドボールスクリュー駆動システムを採用しています。DahengのGCD-0401コントローラーと組み合わせることで、ミクロンレベルの位置決め精度を実現し、テラヘルツ時間領域分光計、ピコ秒/フェムト秒レーザー微細加工プラットフォーム、光学アライメントシステムなどの高度な精密機器への応用に最適です。 GCD-501100Mは、モノリシックシールドデザインを採用し、構造剛性を高めるとともに、優れた防塵・防埃性能を備えています。さらに、ステージにはセンターリセット機能が搭載されており、中間点への迅速な再配置が可能で、マルチステップ操作や反復実験を効率化します。 ...
ストローク: 41 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 60×17×8.5mmのSLC-1760は、41mmの移動範囲と30Nの法線力を提供する。 このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース [N]≥ 3.5 最大法線力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 46 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1770は、SLC-17シリーズで2番目に大きな位置決めステージです。移動範囲は46mmで、サイズは70 x 17 x 8.5mmとコンパクトです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気またはHV環境用のSLC-1770の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 16 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-2430の寸法は30 x 24 x 10.5mmで、移動範囲は16mm、法線力は30Nです。 このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-2430の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 [N]≥ 3.5 最大法線力 [N]20 最大リフト力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 0.5 in
... VB3高精度位置決めステージ ファミリーVB3 モデルVB3-.5 価格：$ 362.00 ...
DELTRON
ストローク: 0.5 in
... VR3高精度位置決めステージ ファミリーVR3 モデルVR3-.5-PL 価格： $ 422.00 ...
DELTRON
... VB3高精度位置決めステージ ファミリーVB3 モデルVB3-1 価格： $ 371.00 ...
DELTRON
ストローク: 100 mm
速度: 3 m/s
... LSMAミニチュアリニアアクチュエータは生産環境で要求される高い信頼性を保ちながら、限られたスペースでのアプリケーションのために設計されました。工場や研究室での測定、試験、アライメント、部品組立に最適です。 精密ボールねじまたはマイクロメートルグレードのリードスクリューは、ステッピングモータ駆動時に0.1ミクロンの超微細位置決め分解能で優れた精度と再現性を提供します。サーボモーターバージョンはロータリーエンコーダを搭載しており、非常にスムーズな移動が可能です。 XYおよびXY-ロータリーの設定が可能です。 ストローク mm 100 スクリューリード mm 0.5 モーターマウントサイズ Nema17 モータータイプ ステッパー（標準） サーボ/エンコーダ ...
ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 80 m/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm
... 説明
オープンフレーム構造の低背型XY回転ステージ。ウェハーのハンドリングや半導体製造プロセスにおける高精度な自動位置決め用途向けに設計されています。XY駆動は筐体側面に配置され、回転テーブル中央の大径貫通穴によりウェハーへ両側からの障害のないアクセスが可能です。開口径や可動量は用途に応じて構成可能です。
主な仕様
- XYステージ型式: XY-OF-300x300J
- 回転ステージ型式: ACR-335UT
- 開口径:
ストローク: 200 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 2 µm
... XYボールネジ駆動オープンフレームXYステージとリフトMLVTステージ、コンパクトウォームギア回転RTLAテーブルの組み合わせ - XYストローク 100mm～300mm - リフト量 12mm～25mm - 無制限回転 ...
ストローク: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
繰返し精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METISをご紹介します。METISは、ステップ・スキャン・アプリケーション用に設計された最先端のハイブリッド平面メカニカル／エア・ベアリング・プラットフォームで、4自由度にわたって比類のない精度、移動・定着時間、速度安定性を保証します。 METISプラットフォームは最先端のハイブリッド平面メカニカル/エアベアリングプラットフォームで、X、Y、Z、θ方向の4軸移動が可能なステップおよびスキャンアプリケーション専用です。全移動範囲にわたるダイナミックな平坦性と双方向の繰り返し精度により、高精度な作業に最適です。METISは、クリティカルディメンションや薄膜測定、ウェーハスクライビング、ウェーハレーザーサーマルアニールなどのウェーハプロセス制御アプリケーションで広く使用されています。また、Back ...
... 傾斜回転テーブル Colibrì コリブリ回転傾斜テーブルは、眼鏡製造における5軸加工のニーズに応えるために専用のNC装置を用いて設計されました。このテーブルの最大の特徴は、ダイレクト・ドライブ軸の高い運動性能と、軽合金製の非常にコンパクトなサイズです。テーブルの総重量は20Kg以下です。 ...
... 製品概要 2 軸テーブルTLT-210 SMARTは、小/中型縦型フライス加工センタで4 軸と5 軸を実現するためのアクセサリとして設計されています。 アプリケーション TLT-210 SMARTのタイプは、プリズム加工（3 + 2）と、完全な5 軸加工経路を持つより複雑な表面の両方を実現するために、空間内のワークピースを配向する複雑な部品を製造することができます。 可能なアプリケーションの中で我々は言及することができます： • 一般力学 • 医療 • ラグジュアリー • 低/中硬度材料加工 • ...
... MXIX/AO プラットフォームシリーズは、精密な動きと安定性を備えた顕微鏡ステージで、X軸およびY軸の正確な移動を必要とするアプリケーションに適しています。このプラットフォームは、X軸で104mm、Y軸で76mmの移動を提供し、倒立顕微鏡やその他の要求の厳しい実験室のセットアップに最適です。
主な特徴
- 高精度アプリケーション用に設計された顕微鏡ステージ
- X軸移動：104mm
- Y軸移動：76mm
- モーター駆動または手動駆動オプションあり
- メートル法またはインチ法の単位選択可能
- 手動調整用の調整ネジ（MXZP-40またはMXZP-80）利用可能
オプション
- モーター調整：はい（モーター駆動）またはいいえ（手動駆動）
- 測定単位（UOM）：メートル法またはインチ法
- 手動調整用の調整ネジ：なし、MXZP-40、MXZP-80
用途
- 生命科学研究
- 顕微鏡検査
- 精密な実験室の位置決め
技術仕様
- 製品シリーズ：MXIX/AO
ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s
... Zaberの新しいクローズドループリニアステージであるX-LRM-DEは、熱安定性と優れた剛性を提供する硬化スチール構造と再循環ボールベアリングガイドを備えています。 内蔵リニアエンコーダは、デバイスの全走行時に高精度な位置決めを提供します（200 mm 以上 15 µm 精度）。 これらのステージは、カンチレバー荷重下で優れた安定性が求められる多軸構成やアプリケーションに最適です。 ZaberのすべてのXシリーズ製品と同様に、X-LRM-DEはデータとパワーをデイジーチェーン接続できます。 内蔵コントローラおよびエンコーダ、50nm ...
Zaber Technologies - Vancouver, BC
ストローク: 6 mm
... -SYS 65用 -各軸の可動範囲 6 mm -開口部 ø 32 mm -クランプ付き細ネジスピンドル -高負荷容量 -耐変形アルミニウム -無反射ブラックアルマイト 取り付け方法 -スライド -ピンに オプション - ウォブルプレート ø 45 mm XYステージKT 65は、高精度の両ダブテールガイドを備えています。 X、Y両方向の微調整が可能です。直径32 mmの開口部は、調整範囲全体で保持されます。 KT 65には、細目ねじスピンドルと目盛付きボタンがあります。各軸の移動量は6mmです。 ピンアダプタープレート無しでは、クロステーブルは垂直に使用されます。ピンアダプタプレートを使用すると、垂直または水平に使用できます。 ...
OWIS GmbH
ストローク: 5 mm - 50 mm
... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 耐荷重15～50N - トラベルレンジ 5 -50 mm - 繰り返し精度 ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 150 µm - 300 µm
... XY300M-SGステージには、各軸にひずみゲージ（SG）ポジショニングセンサ、PCBに組み込まれたSGコンディショナが含まれています。 軸ごとのXY300M-SGステージ変位は、-40°C～+65°Cの温度範囲で有効です。図は、以下のインターフェース制御文書に記載されていない金属カバーオプションを備えたXY300M-SGステージを示しています。 ...
ストローク: max 100.0 µm
... 特性： 3 軸変換システムと2 軸傾斜システムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッドステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプション: 統合された測定システム 光学ステージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします (例えば、光を通すため)。 このような用途のために、PENTORトランスレーションおよびチルトシステムは、17mmフリーセンタホールで開発されました。 これは、X、Y、Z ...
... 高さが制限される用途向けの高精度ローラーテーブルです。これらのローラーテーブルには、U 字型ゲーターカバーが標準装備されています。 構造部品（上部および下部）は、表面を研磨したねずみ鋳鉄製です。 標準長さ：200 ～ 450 mm ...
ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 4.88 nm のリニアエンコーダ クロスローラガイド リニアモーター リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作における非線形性は回避され、どのような位置でも簡単に制御することができます。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置計測 非接触の光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームで直接位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じ、さらに広い移動範囲を提供します。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 反転した研究用顕微鏡用リニアモータ技術を備えたフラットトップステージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベーションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、ステージの上面には障害物が完全に存在しません。 これにより、非常に人間工学に基づいたプラットフォームが提供され、サンプル領域に非常に簡単にアクセスできます。 HLD117は、最小の摩擦と滑らかな駆動を提供する一定の接触軸受を組み込んでいます。 HLD117は以下を提供しています： 超静かな操作 あなたはそれを聞くことができますか？ ...
Prior Scientific
積載量: 5 kg - 150 kg
... 中空回転テーブルは、高効率、高精度、高剛性、高コストパフォーマンスという特徴を持ち、ほぼすべての減速機の利点を兼ね備えたまったく新しい回転負荷装置です。サーボ中空回転プラットフォーム、高精度回転プラットフォーム、中空回転プラットフォーム、モーター中空回転プラットフォームとも呼ばれます。 中空回転テーブルを使用する際に注意すべきこと 中空回転台は、高効率、高精度、高剛性、高コストパフォーマンスという特徴を持ち、ほぼすべての減速機の利点を兼ね備えたまったく新しい回転負荷装置です。サーボ中空回転台、高精度回転台、中空回転台、モーター中空回転台とも呼ばれます。中空回転台を正しく使用して作業効率を向上させるには、次の点に注意する必要があります。 負荷側への接続は避けてください。 02 エッジとキー側を慎重に取り扱ってください 03 ハンマーで叩いて転倒しないように注意してください。 04 回転軸に手や他の物が触れないようにしてください。 ...
Hansheng Automation (Dongguan) Co., Ltd.
ストローク: 90 mm - 210 mm
... マニュアル垂直位置決めステージ LSSS-120JS ドライブ モード: 鋳造物によって通される柵が付いている手の車輪 移動範囲：Z軸：120mm プラットフォーム寸法:140*220mm 精度：0.1mm 耐荷重：25kg 純重量: 4.5kg ...
ストローク: 6.5 mm
SF Technology Co. Ltd.
... XRT-U 30は、超音波ピエゾモータによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステージです。 XRT-U 30を使用すると、空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を、より小さな容積でより低価格で実現できます。 他のピエゾモータ技術と比較して、超音波ピエゾモータは、より長い寿命、ノイズのない動作、低エネルギー消費を保証します。 これにより、XRT-Uは、マイクロCTスキャナ、計測アプリケーション、電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。 ...
Xeryon