高精度ポジショニングステージ

30 社 | 128
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縦型ポジショニングステージ / 傾斜 / 圧電 / 3軸
縦型ポジショニングステージ
P-518, P-528, P-558 series

ストローク: 50 mm - 240 mm

... Zおよびチップ/チルトステージは3軸/Zステージで1軸の クローズドループ垂直/チルト範囲は200µm/2mradまで(オープンループ240µm/2.4mradまで) 並列キネマティクスにより応答時間の短縮と多軸精度の向上 ゼロプレイ、高精度フレクチャーガイドシステム PICMA® による優れた寿命 ピエゾアクチュエータ クリアアパーチャ66mm × 66mm 静電容量式センサによる最高の直線性 PICMA® ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 PICMA® ...

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Physik Instrumente
XYZポジショニングステージ / 圧電 / 6 軸 / 高精度
XYZポジショニングステージ
P-587

ストローク: 200, 800 µm

... -X、Y、Z、θX、θY、θZ -800 µm × 800 µm × 200 µmのリニアレンジ -最大 1mradの回転角度 -応答性と多軸精度の向上:パラレルキネマティクス/計測 -最高の直線性を実現する静電容量式センサ による直接計測-優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータ -摩擦なし、高精度フレクチャーガイドシステム - アプリケーション 干渉測定の6つの自由度分野でアクティブな軌道制御 メトロロジー ナノインプリンティング 半導体テスト 容量式サブナノメータ分解能 ...

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Physik Instrumente
Z軸ポジショニングステージ / 圧電 / 顕微鏡レンズ用 / 摩擦なし誘導
Z軸ポジショニングステージ
PD72Z1x PIFOC® series

ストローク: 100 µm

... デジタルコントローラ、ソフトウェア、およびオプションのQuickLockスレッドアダプタ USB、RS-232、アナログインターフェイスを 備えた完全なシステムトラベル範囲 100 µm サブnm 解像度 ゼロプレイ、高精度フレクチャーガイドシステム 静電容量式センサによる直接位置測定 MetaMorph、µManager、MATLABに対応 すべてのサーボ制御パラメータが動作中に変更可能 アプリケーション分野 顕微鏡 共焦点顕微鏡 3Dイメージング スクリーニング オートフォーカスシステム 表面分析 ウェーハ検査 直接位置による最高精度 ...

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Physik Instrumente
回転ポジショニングステージ / モーター式 / 1軸 / 小型
回転ポジショニングステージ
RF series

RFタイプ(ロータリータイプ) 電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング(微振動)がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する(オープンループの場合)、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。

XYポジショニングステージ / リニアモータ駆動 / 2軸 / 高精度
XYポジショニングステージ
TLM series

ストローク: 4 µm - 300,000 µm

... 精密クロスシステムTLMの メリット: 最小セトリング時間が効率と出力を向上 ほぼ振動の少ない操作 すぐに使用できるシステム 特長: サブµm範囲での正確な位置決め 非常にダイナミックなダイレクトドライブ 精密クロスローラレールガイドクリーピング防止システム TLMは、高精度レールガイドの非常に高いガイド精度を組み合わせたクロステーブルシステムです。 アイアンレスリニアモータ駆動と光リニアエンコーダは、サブµm範囲での正確な位置決めを可能にします。 TLMオープンフレームXYステージは当初、測定およびレーザーアプリケーション向けに設計されました。 ...

回転ポジショニングステージ / モーター式 / 1軸 / 高精度
回転ポジショニングステージ
ABRT series

... デザインの特徴 •高トルク出力、ダイレクトドライブ、スロットレス、ブラシ レスサーボモータ •抜群の速度安定性のためのゼロコギングモーター •優れたエラー動作とぐらつき性能 •直接結合された高精度ロータリーエンコーダ •大口径クリア開口部 •機械的接触なしAerotechのABRTシリーズロータリーエアベアリングステージは、優れた角度位置決め、速度安定性、エラーモーション性能を提供し、印象的なペイロード容量と優れた半径方向および軸方向の剛性を備えています。 ABRTは、ウェハ検査、高精度計測アプリケーション、X線回折システム、光学検査および製造、MEMS/ナノテクノロジーデバイス製造の厳しい要件を満たすように設計されています。 ...

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Aerotech/エアロテック
トランスレーションポジショニングステージ / 縦型 / モーター式 / 単一軸
トランスレーションポジショニングステージ
ANT95-3-V series

ストローク: 3 mm
速度: 0.075 m/s

... 設計の特徴 •垂直移動3mmのナノメータ性能 •高分解能(1nm)、再現性(100nm)、精度(200nm) •1nm未満のインポジション安定性 •アンチクリープクロスローラーベアリング •高ダイナミック性能 紹介 AerotechのANTシリーズステージは世界初マルチミリメートルの移動が可能なナノメートルレベルの位置決めシステム。 ANT95V-3およびANT95V-3-PLUSは、リニアモーター駆動のウェッジスタイルの垂直リフトステージです。 これらのステージは、ANT95ファミリの他のステージとシームレスに統合され、優れた多軸性能を発揮するように設計されており、2つの精度グレードで提供されます。 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアポジショニングステージ / モーター式 / 1軸 / 小型
リニアポジショニングステージ
MPS50SL series

ストローク: 25, 50 mm
速度: 0 m/s - 0.005 m/s

... 設計の特徴 •50mmまでの移動でコンパクトな50 mm幅 •精密グランドボールスクリューまたはリードスクリュー駆動 •DCサーボまたはステッピングモーター •クロスローラベアリング •高分解能 (0.1 µm)、再現性 (±0.75 µm)、精度 (±1.5 µm) •高真空性 •コンパクトな多軸構成 MPS50SLは、コンパクトで高性能なリニアポジショニングステージで、実験室での用途に最適なと同時に、生産環境で求められる高い信頼性を提供します。 スペースに制約のあるアプリケーションでの測定、試験、正確な位置合わせ、コンポーネント組み立てに最適です。 ...

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Aerotech/エアロテック
XYポジショニングステージ / 圧電 / 2軸 / 小型
XYポジショニングステージ

ストローク: 150 µm - 300 µm

... XY300M-SGステージには、各軸にひずみゲージ(SG)ポジショニングセンサ、PCBに組み込まれたSGコンディショナが含まれています。 軸ごとのXY300M-SGステージ変位は、-40°C~+65°Cの温度範囲で有効です。図は、以下のインターフェース制御文書に記載されていない金属カバーオプションを備えたXY300M-SGステージを示しています。 ...

回転ポジショニングステージ / 圧電 / 高精度 / -翻訳中-
回転ポジショニングステージ
SR-3211

... SR-3211回転段は、SLS-32シリーズのリニアピエゾ段に簡単に取り付けるように設計されています。 また、超高真空互換性や完全非磁性バージョンなど、さまざまなオプションも用意されています。 トラベル [∞ ブロッキングトルク [Ncm] ≥ 2 最大. 垂直荷重 [N] 3 寸法 [mm] 32 x 32 x 11 重量 [g] 35 絞り [mm] — 開ループ 角速度 [°/s] ~ 15 開ループ分解能 [µ< 4 閉ループ センサタイプL、S 閉ループ分解能 ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 高精度 / 非磁性
リニアポジショニングステージ
SLC-2430

ストローク: 16 mm
速度: 0.02 m/s

... SLC-2430 は、SLC-24シリーズの最小ステージです。 これは、より厳しい条件下で最高の精度を満たすように設計されています。 16mmの移動範囲を提供し、20Nの通常の荷重を処理することができます。 トラベル [mm] 16 ブロッキング力 [N] ≥3.5 マックス。 垂直荷重 [N] 20 最大 リフト力 [N] 1.5 寸法 [mm] 30 x 24 x 10.5 重量 [g] 36 開ループ 速度 [mm/秒] > 20 分解能 [nm] < 1 閉ループ閉ループ分解能 ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ
SL-0610

ストローク: 4.5 mm
速度: 0.01 m/s

... SL-0610 SL-0610は、SLシリーズの最小かつ最もコンパクトなステージで、フットプリントはわずか11 x 11mm²で、高さはわずか5.2mmです。 最大1 Nのペイロードを処理することができ、4.5 mmのトラベル範囲を提供しています。 トラベル [mm] 4.5 ブロッキング力 [N] ≥ 1.6 最大。 垂直荷重 [N] 1 最大 リフト力 [N] 0.35 寸法 [mm] 11 x 11 x 5.2 開ループ 速度 [mm/s] > 10 解像度 ...

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SmarAct GmbH
リニア位置決めテーブル / モーター式 / 2軸 / 1軸
リニア位置決めテーブル
FSL60 Series

ストローク: 100 mm - 1,200 mm
速度: 300 mm/s

【Technical Feature】 FSL60 linear guide, fully sealed structure, body width 60mm, it is designed for dustproof usage in hard environment, avoid dust or miscellaneous debris fall into body structure to affect working, large stretch,small ...

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Chengdu Fuyu Technology Co., Ltd
リニア位置決めテーブル / 電動 / リニア サーボ モーター / マルチ軸
リニア位置決めテーブル
FSL120XYZ-L

ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 650 mm/s

【Technical Feature】 FSL120 linear module, fully enclosed structure, body width 120mm, two guides and four sliders, with high precision, multi-segment repeat positioning, compact structure, strong versatility, suitable for use in special ...

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Chengdu Fuyu Technology Co., Ltd
リニアポジショニングステージ / モーター式 / マルチ軸 / 小型
リニアポジショニングステージ
FSL80E80010C7

ストローク: 100 mm - 1,500 mm
速度: 300 mm/s

The FUYU's Linear Module is a sophisticated linear system of maturity.The linear system has a compact overall size and high performance with arbitrary length and superior cost performance and short delivery times.The module is made of ...

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Chengdu Fuyu Technology Co., Ltd
回転ポジショニングステージ / 圧電 / マルチ軸 / 閉ループ
回転ポジショニングステージ
COR-RS

... ナノメートルおよびサブナノメートルシフトに到達することは容易ではなく、しばしば外乱の存在によって制限されます。このため、Phi Driveの回転テーブルには、ノイズを制限するために特別に開発された電子機器が搭載されており、その堅牢性を高めています。 COR-RSシリーズの全製品に圧電技術とフレクシャー型機構を採用しており、これらの技術を組み合わせることで、高いカスタマイズ性を生かした高性能化を実現しています。 +/- 360°回転 高い角度分解能 カスタマイズ:性能と寸法 クローズドループ制御 高真空レイアウトが可能 液体環境での作業 多軸システムのためのモジュラーソリューション ...

リニアポジショニングステージ / 圧電 / 小型 / 顕微鏡
リニアポジショニングステージ
M3-LS

ストローク: 6 mm
速度: 0.005 m/s

... M3-LSリニアスマートステージは、高解像度、低消費電力、絶対符号化を備えた超小型ポジショニングステージです。 すべてのエレクトロニクスがステージに組み込まれているため、シンプルなシステム統合が可能です。 USB、I2C、またはSPIインターフェースを介して、高レベルのモーションコマンドを使用してステージを制御します。 ...

回転ポジショニングステージ / モーター式 / 高精度
回転ポジショニングステージ
GCD-01

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Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
回転ポジショニングステージ / モーター式 / 高精度
回転ポジショニングステージ
GCD-011080M

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Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
回転ポジショニングステージ / モーター式 / 高精度
回転ポジショニングステージ
GCD-012200M

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Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
XYポジショニングステージ / モーター式 / 2軸 / フラットプロファイル型
XYポジショニングステージ
LSMA-200

ストローク: 100 mm
速度: 3 m/s

リニアポジショニングステージ / XYZ / Z軸 / モーター式
リニアポジショニングステージ
X-LRM-DE series

ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 0.000000029 m/s - 0.1 m/s

... Zaberの新しいクローズドループリニアステージであるX-LRM-DEは、熱安定性と優れた剛性を提供する硬化スチール構造と再循環ボールベアリングガイドを備えています。 内蔵リニアエンコーダは、デバイスの全走行時に高精度な位置決めを提供します(200 mm 以上 15 µm 精度)。 これらのステージは、カンチレバー荷重下で優れた安定性が求められる多軸構成やアプリケーションに最適です。 ZaberのすべてのXシリーズ製品と同様に、X-LRM-DEはデータとパワーをデイジーチェーン接続できます。 ...

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Zaber Technologies
リニアポジショニングステージ / モーター式 / ソレノイド / 1軸
リニアポジショニングステージ
X-DMQ-DE series

ストローク: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0.000000122 m/s - 1.4 m/s

... 200 nm の分解能と最大速度 1400 mm/s または 25 Hz を備えたロープロファイル ステージは、内蔵コントローラとリニアエンコーダ X-DMQ-DE を備えたボイスコイルステージをリリースしました。 ボイスコイルは、移動間の一定の力と高加速度を可能にします。 このステージは、1400mm/sの最高速度と15.5Nのピークスラストで12mmの走行を持っています。 わずか30mmの高さで、この段階は薄型のアプリケーションに最適です。 X-DMQ-DEは、他のZaber ...

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Zaber Technologies
リニアポジショニングステージ / モーター式 / 1軸 / 小型
リニアポジショニングステージ
X-LRT-EC series

ストローク: 100 mm - 1,500 mm
速度: 0.36 m/s

... ZaberのリニアステージのX-LRT-ECシリーズは、高いねじりおよびカンチレバー剛性、高負荷容量、および長寿命を備えています。 負荷容量は500kgで、ステージは360mm/sの速度と最大1200Nの推力を達成することができます。 内蔵コントローラにより、他のZaber 製品とのデイジーチェーン接続が可能です。また、オプションの統合モータ搭載エンコーダは、スリップ/ストール検出とリカバリを提供します。 最大移動長は1500mmで、ステンレススチール製ダストカバーを含みます。 ...

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Zaber Technologies
XYZポジショニングステージ / 3軸 / 高精度 / 測定用
XYZポジショニングステージ
Isostage 300

ストローク: 1 mm

... アクティブ振動絶縁テーブル Isostage 300 Isostage 300 は、建物の床の振動による妨害からすべての測定値を保護するアクティブ振動絶縁テーブルです。 光学テーブルや重い花崗岩のテーブルは、建物の振動を大幅に減衰させます。 しかし、それらは受動減衰のみを提供し、能動振動絶縁テーブルは振動を測定し、積極的に反作用することによって優れています。 その結果、AFMやSTMと同様に低ノイズ・レベルを必要とするアプリケーションの業界標準となっています。 アイソステージ300はFlexAFMと互換性があり、CoreAFMに統合されており、NaioAFMとNaioSTMのアダプタが入手可能です。 ...

リニア位置決めテーブル / 手動式 / 1軸 / 高精度
リニア位置決めテーブル
30 series

ストローク: 10 mm - 30 mm

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GIROUD Mécanique de Précision
リニア位置決めテーブル / 手動式 / 1軸 / 高精度
リニア位置決めテーブル
50 series

ストローク: 25 mm - 150 mm

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GIROUD Mécanique de Précision
リニア位置決めテーブル / 手動式 / 1軸 / 高精度
リニア位置決めテーブル
75 series

ストローク: 25 mm - 200 mm

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GIROUD Mécanique de Précision
縦型位置決めテーブル / 回転 / 2軸 / 高精度
縦型位置決めテーブル
TLT-180 COLIBRi'

縦型位置決めテーブル / 回転 / 2軸 / -翻訳中-
縦型位置決めテーブル
TLT-210 SMART

... 製品概要 2 軸テーブルTLT-210 SMARTは、小/中型縦型フライス加工センタで4 軸と5 軸を実現するためのアクセサリとして設計されています。 アプリケーション TLT-210 SMARTのタイプは、プリズム加工(3 + 2)と、完全な5 軸加工経路を持つより複雑な表面の両方を実現するために、空間内のワークピースを配向する複雑な部品を製造することができます。 可能なアプリケーションの中で我々は言及することができます: • 一般力学 • 医療 ...

回転ポジショニングステージ / 圧電 / 高精度 / 小型
回転ポジショニングステージ
XRT-U 30

... XRT-U 30は、超音波ピエゾモータによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステージです。 XRT-U 30を使用すると、空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を、より小さな容積でより低価格で実現できます。 他のピエゾモータ技術と比較して、超音波ピエゾモータは、より長い寿命、ノイズのない動作、低エネルギー消費を保証します。 これにより、XRT-Uは、マイクロCTスキャナ、計測アプリケーション、電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。 ...

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Xeryon
Z軸ポジショニングステージ / 手動式 / 1軸 / 高精度
Z軸ポジショニングステージ
LSSS-120JS

ストローク: 90 mm - 210 mm

... 手動垂直位置決めステージ LSSS-120JS 製品の特徴: 1. 垂直移動:長い移動距離と重い負荷の垂直移動。 2. 高精度位置決め:6つのガイドレールノッチ垂直構造と微細な研削リードスクリュー駆動を採用することで、安定した快適で正確な高負荷環境で動作します。 3. アップダウンボトムのマルチピッチ:高い適合性とより多くの分割払いベースボード。 4. ロック可能: ロック可能なハンドホイールが装備されており、非常に安全で安定しています。 ドライブモード ハンドホイール見つけるねじ込みレール トラベル範囲 Z ...

トランスレーションポジショニングステージ / 手動式 / ボールねじ式 / 高精度
トランスレーションポジショニングステージ
LSSP-FG Series

リニアポジショニングステージ / 手動式 / 1軸 / クロスローラー
リニアポジショニングステージ
VB3-.5

ストローク: 0.5 in

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DELTRON
リニアポジショニングステージ / 手動式 / 1軸 / クロスローラー
リニアポジショニングステージ
VR3-.5-PL

ストローク: 0.5 in

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DELTRON
リニアポジショニングステージ / 手動操作 / 単一軸 / クロスローラー
リニアポジショニングステージ
VB3-1

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DELTRON
リニアポジショニングステージ / リニアモータ駆動 / 2軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ
HLD117 series

ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s

... 反転した研究用顕微鏡用リニアモータ技術を備えたフラットトップステージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベーションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、ステージの上面には障害物が完全に存在しません。 これにより、非常に人間工学に基づいたプラットフォームが提供され、サンプル領域に非常に簡単にアクセスできます。 HLD117は、最小の摩擦と滑らかな駆動を提供する一定の接触軸受を組み込んでいます。 ...

クロスローラーポジショニングステージ / リニア / モーター式 / 小型
クロスローラーポジショニングステージ
MX80S Series

ストローク: 0 mm - 150 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s

MX80Sの幅はわずか80mm。高い精度を保ち、ストローク長さ最大150mm、最大積載量80N。ライフサイエンスや光学調整アプリケーションへの使用に最適です。

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Parker Electromechanical and Drives Division Europ/パーカー
リニアポジショニングステージ / リニアモータ駆動 / 単一軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ
GTS series

ストローク: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s

... GTS高トルクDCモータリニアトランスレーションステージは、クロスローラベアリングステージの真直度と平坦性を組み合わせて、ハイエンドステージの精度と再現性を向上させます。 優れた真直度と平坦性のためのアンチクリープクロスローラーベアリング 統合エンコーダは、高い再現性と正確な動きを保証します 低摩擦ボールスクリュードライブは、スティックとスリップの影響を最小限に抑えます 長期間の強度と安定性 プラグアンドプレイ-ESP互換 Precision Encoderフィードバック: 50nmという優れた分解能を持つ光学スケールを使用することで、ドライブトレインによる誤差が軽減されます。 ...

リニアポジショニングステージ / XY / 2軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ
FV 40-XY series

ストローク: 3 mm

... XYファイン調整ステージ FV 40-XY 2軸を高精度で調整するために、FV 40-XY XY 微調整ステージを使用します。 小さな移動は、高感度で非常に正確に移動することができます。 組み込まれたばね要素により、バックラッシュのない動きが可能です。 XY微調整ステージの位置直径は25mmで、例えば光学部品やレーザーアクセサリーなどを保持します。 調整要素として、ローレットヘッドと六角ソケット、マイクロメータを備えた細ねじねじねじが用意されており、最高の調整精度が得られます。 ...

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OWIS
リニアポジショニングステージ / 手動式 / 単一軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ

ストローク: 30 mm - 65 mm

XY位置決めテーブル / Z軸 / 電動 / 5軸
XY位置決めテーブル
PENTOR

ストローク: max 100.0 µm

... 特性: 3 軸変換システムと2 軸傾斜システムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換: 各方向に最大 100μmチルト:± 2mrad ソリッドステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプション: 統合された測定システム 光学ステージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします (例えば、光を通すため)。 このような用途のために、PENTORトランスレーションおよびチルトシステムは、17mmフリーセンタホールで開発されました。 ...

リニア位置決めテーブル / 高精度 / ローラー
リニア位置決めテーブル
TX...M

... IKOTXスーパーポジショニングテーブルは、IKOリニアローラーウェイスーパーXをガイダンスに組み込むことで、高い負荷容量と組み合わせて非常に高い走行精度を提供します。 0.016μmの分解能は、フルクローズドループ制御システムで得られます。 位置決めテーブルは空気供給装置を必要としないため、システムの構成は簡単です。 ...

リニアポジショニングステージ / 手動式 / 単一軸 / マイクロメートル
リニアポジショニングステージ
SEMX60-AC

ストローク: 6.5 mm

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SF Technology Co. Ltd.