リニアポジショニングステージ SLC-1770

圧電単軸閉ループ

SLC-1770は、SLC-17シリーズで2番目に大きな位置決めステージです。移動範囲は46mmで、サイズは70 x 17 x 8.5mmとコンパクトです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気またはHV環境用のSLC-1770の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 [N]≥ 3.5 最大法線力 [N]30 最大リフト力 [N]> 1.5 寸法 [mm]70 x 17 x 8.5 重量 [g]45 開ループ 分解能 [nm]< 1 オプション 材質オプション アルミニウムベース（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、ブラックアルマイト（-BK 機械的オプション より高い機械的強度のためのU字型ベース（-W）幅を23mmに拡大、寿命延長（-Z） 性能オプション より高いブロック力（-D）：+1.5 N 極低温オプション