コンパクトポジショニングステージ SL-0630

リニア真空対応小型

SLシリーズのリニアステージは超小型で、スペースに制約のあるセットアップや極端な小型化の要求のために特別に設計されています。小型サイズを維持しながら、ステージは比較的長い移動範囲を提供し、複雑な多軸システムを構築するために組み合わせることができます。SLシリーズのステージは、幅11mm、高さ5.2mmです。 メカニカル ブロック力 [N]≥ 1.6 最大法線力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]31 x 11 x 5.2 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm]- < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - スチールベース（-ST）が標準 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)