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- リニアポジショニングステージ
- SmarAct GmbH
コンパクトポジショニングステージ SL-0610 リニア小型真空対応
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特徴
- 方向
- リニア
- その他の特徴
- コンパクト, 真空対応, 小型, 開ループ, 鉄骨構
- ストローク
4.5 mm
(0.177 in)- 速度
10 mm/s
詳細
この超小型ポジショナーは、長さ11mmで4.5mmの移動範囲が特徴です。
メカニカル
ブロック力 [N]≥ 1.6
最大法線力 [N]1
最大リフト力 [N]0.35
寸法 [mm]11 x 11 x 5.2
開ループ
開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1
開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50
オプション
材質オプション - スチールベース（-ST）が標準
真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
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カタログ
Catalog 22
182 ページ
CATALOG 2025
192 ページ
見本市
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