コンパクトポジショニングステージ SL-0610

リニア小型真空対応

この超小型ポジショナーは、長さ11mmで4.5mmの移動範囲が特徴です。 メカニカル ブロック力 [N]≥ 1.6 最大法線力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]11 x 11 x 5.2 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - スチールベース（-ST）が標準 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)