リニアナノ位置決めステージ PLF3232-x.60

圧電単軸コンパクト

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。重量は30 gと非常に軽く、32 x 32 x 12 mmと非常にコンパクトです。 仕様 スキャン範囲 [μm] - > 60 最大法線力 [N] - 5.0 寸法 [mm] - 32 x 32 x 12 重量 [g] - 30 材質 ベース素材 - チタン(-TI) / アルミニウムベース(-Al) オープン・ループ オープンループ分解能 MCS2 [nm] - MCS2: <1 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) オプション 真空オプション - HV (10-⁶ mbar) 非磁性オプション - あり (- NM)