リニア小型ナノ位置決めステージ SLC-1720

圧電単軸閉ループ

SLC-1720は、スマーアクトのSLC-17シリーズの中で最も小さいナノメートル精度のリニアステージです。22×17×8.5mmという世界最小のクローズドループピエゾステージで、ナノメートルの分解能とマクロスコピックの移動範囲を実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-ポジションセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用の1720の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5 最大通常の力 [N] - 10 最大揚力 [N] - > 1.5 寸法 [mm] - 22 x 17 x 8.5 重量 [g] - 13 オープンループ 分解能 [nm] < 1 オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、ブラックアノダイズド（-BK 機械的オプション - U字型ベースによる機械的強度の向上（-W）、幅を23 mmに拡大、寿命の向上（-Z）。 性能オプション - ブロッキング力の向上(-D)+1.5 N 極低温オプション - はい（オープンループのみ）。