電磁駆動ポジショニングステージ MLS-5282

閉ループダイレクトドライブ

電磁式ダイレクトドライブで、移動距離は38mm。 MLS-5282は、CLS-52モジュールシステムに対応した中型の電磁式ダイレクトドライブです。CLS-52のリニア、ローテーション、ゴニオメータステージと簡単に組み合わせることができます。また、ステージは信頼性の高いMCS2コントローラシリーズで駆動できます。 メカニカル 連続力 [N] - 2.0 ピークフォース [N] - 5.0 最大通常時の力 [N] 20 移動質量 [g] 100 重量 [g] - 200 寸法 [mm] 82 X 52 X 14 クローズド・ループ 最大加速度加速度（無負荷） [m/s²] 45 位置決め時の安定性 [nm] - 3 クローズド・ループの再現性、フルストローク MCS2 [nm] - ± 50（一方向）、± 200（双方向）