Z軸ナノ位置決めステージ PLF3232-z.60

圧電コンパクト-翻訳中-

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF3232-z.60は、Z方向に60μm以上のスキャン範囲を提供します。重量は30 gと非常に軽く、32 x 32 x 15 mmと非常にコンパクトです。 仕様 スキャン範囲 [μm] - > 60 最大法線力 [N] - 5.0 寸法 [mm] - 32 x 32 x 15 重量 [g] - 30 材質 ベース素材 - チタン(-TI) / アルミニウムベース(-Al) オープン・ループ オープンループ分解能 MCS2 [nm] - MCS2: <1 - クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - オプション 真空オプション - HV (10-⁶mbar) 非磁性オプション - あり (- NM)