ロングレース用ポジショニングステージ CLL42

リニア圧電単軸

CLL42は、積載物を搭載するための大きなプラットフォームを提供し、長い移動範囲と交換可能なドライブユニットを特徴としています。 CLL42は交換可能なドライブユニットSmarActsを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。高真空バージョンもあります。標準バージョンは、移動量99、179、259、379、499、619 mm。 メカニカル ブロック力 [N] - ≥ 5 最大法線力 [N] - 30 最大リフト力 [N] - 1.5 寸法 [mm] - 60 x 16（オープンループ・キャリッジ） 重量 [g] - 長さによる オープンループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - 50 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 100 (S) オプション 材質オプション - 複数のキャリッジ、ザグリ穴、タップ穴（M4） 機械的オプション - 複数のキャリッジ、ザグリ穴、タップ穴（M4） 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)