リニアナノ位置決めステージ PLF5252-x.200

圧電単軸コンパクト

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF5252-x.200は、X方向に200μm以上のスキャン範囲を提供します。重量は90 gと非常に軽く、52 x 52 x 15 mmと非常にコンパクトです。 仕様 スキャン範囲 [μm] - > 200 最大法線力 [N] - 5.0 寸法[mm] - 52 x 52 x 15 重量 [g] - 90 材質 ベース素材 - チタン(-TI) / アルミニウムベース(-Al) - オープン・ループ オープンループ分解能 MCS2 [nm] - MCS2: <1 - クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - オプション 真空オプション - HV (10-⁶mbar) 非磁性オプション - あり (- NM)