リニアポジショニングステージ CLS-92152
圧電閉ループ真空対応

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
その他の特徴
-翻訳中-, 真空対応, 閉ループ, 産業用, 開ループ
ストローク

103 mm
(4.055 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

大型のリニアステージCLS-92は、フットプリントが92×152mm、移動範囲が103mm。さらに、最大20Nの可搬重量に対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために特別に設計されています。ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しており、サービスを簡単に行うことができます。ドライブユニットを交換する際には、周囲のポジショニングセットアップからデバイス全体を取り外す必要はありません。モジュラー性と簡単な構成が最優先される場合に最適なオプションです。 メカニカル ブロッキングフォース [N] ≥ 3.5 最大通常の力 [N] 20 寸法 [mm] 92 x 152 x 17 重量 [g] - 591 オープンループ 分解能 [nm] - < 1

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。