リニアポジショニングステージ CLS-92152

圧電-翻訳中-真空対応

より大型のCLS-92リニアステージは、設置面積152 x 92 mm、移動範囲103 mmです。さらに、最大20 Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーション向けに特別に設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。モジュール性と容易なコンフィギュレーションが最重要要件である場合に最適なオプションです。 メカニカル ブロック力 [N] ≥ 3.5 最大常用力 [N] 20 寸法 [mm] 92 x 152 x 17 重量 [g] - 591 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S)、4 (L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 一方向再現性 (H)CU [nm] - ± 200 (L) オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、チタンベース（-TI 性能オプション - 高い遮断力（-D）：+1.5 N 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) 非磁性オプション - はい