リニアポジショニングステージ CLS-5282

圧電閉ループ真空対応

CLS-52は、フットプリント52×82mm、移動量51mm、アパーチャ直径9mmの大型リニアステージです。さらに、最大20Nのペイロードに対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース [N] ≥ 3.5 最大法線方向の力 [N] 20 最大揚力 [N] > 1.0 寸法 [mm] 52 x 82 x 14 重量 [g] - 157 オープンループ 分解能 [nm] - < 1