リニアポジショニングステージ SLC-1760
圧電単軸閉ループ

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
軸の数
単軸
その他の特徴
高精度, -翻訳中-, 真空対応, 閉ループ, 非磁性
ストローク

41 mm
(1.614 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

SLC-1760は、60×17×8.5mmの大きさで、移動範囲41mm、法線方向の力30Nを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース [N]≧ 3.5 最大法線力 [N]30 最大リフトフォース [N]> 1.5 寸法 [mm]60 x 17 x 8.5 重量 [g]38 オープンループ 分解能 [nm]<1 オプション 材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK 機械的オプション - U字型ベースによる機械的強度の向上(-W):幅が23 mmに拡大、寿命の向上(-Z) 性能オプション - ブロッキング力の向上(-D)+1.5 N 極低温オプション - はい(オープンループのみ)。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。