リニアポジショニングステージ SLC-1760
圧電単軸高精度

リニアポジショニングステージ - SLC-1760 - SmarAct GmbH - 圧電 / 単軸 / 高精度
リニアポジショニングステージ - SLC-1760 - SmarAct GmbH - 圧電 / 単軸 / 高精度
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特徴

方向
リニア
軸の数
単軸
その他の特徴
高精度, -翻訳中-, 真空対応, 閉ループ, 非磁性
ストローク

41 mm
(1.614 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

60×17×8.5mmのSLC-1760は、41mmの移動範囲と30Nの法線力を提供する。 このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース [N]≥ 3.5 最大法線力 [N]30 最大持ち上げ力 [N]> 1.5リフト力 [N]> 1.5 寸法 [mm]60 x 17 x 8.5 重量 [g]38 開ループ 開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1 オープンループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 オプション 材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK 機械的オプション - より高い機械的強度のためのU字型ベース(-W)幅を23mmに拡大、寿命延長(-Z) 性能オプション - より高いブロック力(-D):+1.5 N 極低温オプション - あり(オープンループのみ)

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。