60×17×8.5mmのSLC-1760は、41mmの移動範囲と30Nの法線力を提供する。
このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。
メカニカル
スキャン範囲 [μm] - > 1.3
ブロッキングフォース [N]≥ 3.5
最大法線力 [N]30
最大持ち上げ力 [N]> 1.5リフト力 [N]> 1.5
寸法 [mm]60 x 17 x 8.5
重量 [g]38
開ループ
開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1
オープンループ分解能 (H)CU [nm] - < 50
オプション
材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK
機械的オプション - より高い機械的強度のためのU字型ベース(-W)幅を23mmに拡大、寿命延長(-Z)
性能オプション - より高いブロック力(-D):+1.5 N
極低温オプション - あり(オープンループのみ)
---