リニアポジショニングステージ CLS-3252

圧電閉ループ真空対応

CLS-32シリーズの中型ステージは、わずか32 x 52 mmのフットプリントを維持しながら、31 mmの移動範囲を提供します。最大30Nの可搬重量を扱うことができます。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高可用性アプリケーションのために一貫して設計されています。交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージのコアコンポーネントであるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。ドライブユニットは、周囲の位置決めセットアップから装置全体を取り外すことなく交換できます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメータの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロック力 [N] ≥ 3.5 最大法線力 [N] 30 最大リフト力 [N] > 1.5 寸法 [mm] 32 x 52 x 11 重量 [g] - 54 開ループ 開ループ分解能 [nm] - < 1 開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 50 (L) 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) 一方向再現性 (H)CU [nm] - ± 200 (L) オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、チタンベース（-TI 性能オプション - 高い遮断力（-D）：+1.5 N 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプション - はい