クロスローラーポジショニングステージ

ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm

... 最小1nmのインクリメンタルリニアモーション 高精度位置エンコーダオプションインクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計のコンパクトな直線移動ステージ 高精度リニア・モーター・ステージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトな薄型パッケージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ電動ナノ位置決めステージは、高性能ベアリング、ゼロフリクションリニアモーター、非接触光学式位置センサー、および剛性と熱安定性のためにFEA（有限要素解析）で最適化されたボディなど、信頼性を念頭に置いて設計されたコンセプトに基づいており、高ダイナミクス24/7産業オートメーションアプリケーションに適しています。 フリクションレス・ダイレクトドライブ・リニアモーター ...

ストローク: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s

... GTS高トルクDCモーター直動ステージは、クロスローラーベアリングステージの真直性と平坦性に、上位ステージの改善された精度と再現性を組み合わせたものです。サーフェススキャニング、テスト、キャリブレーション、光学部品のアライメントや取り付け、光遅延線などの用途に高性能なソリューションを提供します。 優れた真直度と平坦度を実現するアンチクリープクロスローラベアリング エンコーダ内蔵により、再現性の高い正確なモーションを実現 低摩擦のボールねじ駆動により、スティックとスリップの影響を最小化 長期的な強度と安定性 プラグアンドプレイ ...

ストローク: 25 mm - 50 mm
積載量: 20 kg

... MX80Mシリーズは、一体型の駆動メカニズムを備えており、移動距離は最長6インチ、負荷容量は最大17lbsで、優れた滑らかさ、低摩擦、高精度の真直度/平坦度ご提供します。 MX80Mステージは、25mmまたは50mm移動の自由移動ユニット、またはマイクロメータ駆動ユニットとしてご提供します。それらには、取り付けや精密アライメントを迅速で簡単にできるように、革新的なツーリング機能が含まれています。硬化鋼のマスター基準面がステージの側面に沿って設けられ、実際の移動経路に固定具やその他のツーリングエレメントを正確に合わせることができます。繰返しの設置やツーリング用に、台車上部に連結穴が設けられています。 スチールボディ設計、真空ユニットや、最長150 ...

ストローク: 25.4 mm
積載量: 10, 4 lb

... 100.5crシリーズは、現在市場で最も薄いクロスローラーステージのラインを表しています。そのスリムなデザインは、スペースや高さが重要なアプリケーションに最適です。すべての3つのサイズは、X、XY、またはXYZ軸バージョンで利用可能です。各軸には、最初の調整が最後の調整であることを事実上保証する非影響のフォイルロックがあります。フォイルロックには、最大のアクセス柔軟性のために反対側のエッジに一致する取り付け穴があります。セットアップの感度に応じて、8-80TPIまたは8-100TPIの調整ネジ、またはSM-1マイクロメータをこれらのステージで使用できます。角度ブラケットはアセンブリに含まれており、別途購入することもできます。

製品の特徴

• 低プロファイルデザイン
• 非影響ロック
• 高負荷クロスローラーベアリング
• 真空対応バージョンあり

• 移動範囲：1.0インチ（25.4mm）
• 最大水平軸荷重：10ポンド
• 最大垂直軸荷重：4ポンド
• 解像度：
• 80TPI調整ネジで5µm
• 100TPI調整ネジでサブミクロン

ストローク: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0 mm/s - 1,400 mm/s

... Zaber社のX-DMQ-AEシリーズデバイスは、コンピュータ制御によるダイレクトドライブボイスコイル駆動のリニアステージで、コンパクトサイズでありながら高加速度、高精度の能力を備えています。標準24Vまたは48V電源のみを必要とする独立型ユニットです。 革新的なムービングコイルアクチュエータ設計は、移動全体を通してスムーズな力出力を必要とするアプリケーションのために、力対位置のプロファイルが非常にフラットです。また、この技術により、移動質量が最小で急加速が可能であり、移動ケーブルが露出しないため高デューティサイクルを実現します。力出力により、軽量キャリッジは12mmトラベル内で最高1400mm/sの速度に達します。 内蔵のアナログ・リニアエンコーダは1 ...

ストローク: 45, 10, 20 mm

... -ステップまたはエンコーダ付きDCモータ、クロスローラベアリングガイド、細目スピンドル 特徴 -研磨済み細目ねじスピンドル、低バックラッシ -プリロード精密クロスローラベアリングガイド -ホールリミットスイッチまたはメカニカルリミットスイッチ -2相ステップモーターまたはエンコーダー付きDCモーター -コンパクト設計 -XYZ取付 -耐変形アルミニウム -反射の少ない黒アルマイト処理 -OWISid付き モータケーブルの技術データ、およびポジショナとコントローラの組み合わせに適したケーブルの選択ガイダンスは、ケーブル表に記載されています。 電動測定ステージ ...

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - ...

... - 価格重視のアプリケーションに最適なXYステージ - 高精度ステッピングモータ - クロスローラーガイド - リミットスイッチ、リファレンススイッチ（ホール効果）搭載 価格重視のOEM市場向けXYステージ M-971 は、検査、リソグラフィー、バイオメディカルエンジニアリングなどのシステムに組み込まれ、光学顕微鏡に最適化されています。価格に敏感なOEM市場の要求を満たすために、特別に開発されました。実績があり、コストを最適化したコンポーネントがそのベースとなっています。 短いクロスローラーガイドを複数組み合わせたガイドの設計により、広い面積に均一に荷重を分散させ、高い剛性と優れた移動精度を実現しています。 ドライブトレインは、広く使用されているPI社製リニアステージをベースにしています。その信頼性と長寿命は、長年にわたる使用で証明されています。 ステッピングモーターを使用することで、エンコーダーが不要になり、シンプルなステッピングモーターコントローラーを使用することができます。XYステージにはリミットスイッチとリファレンススイッチが装備されており、高速かつ正確なレファレンシングと動作中の安全性を確保しています。 ...

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 4.88 nm のリニアエンコーダ クロスローラガイド リニアモーター リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作における非線形性は回避され、どのような位置でも簡単に制御することができます。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置計測 非接触の光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームで直接位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じ、さらに広い移動範囲を提供します。 ...

... 当社のクロスローラーガイドレールは、自由に交換可能な標準エレメントです。当社のガイドレールは、非常に剛性が高く、正確なリニアガイドを遊びなく組み立てることができます。 メリット -高負荷を運ぶことができる -スムーズな走り -少ないスペースで済む -長寿命 -取り付け方法を説明します。 ガイドレールを取り付ける際には、軸受面が平行に加工されていることを確認してください。軸受面と取付面の公差は、ガイドレールの加工公差（標準品質）に準拠してください。使用するプレストレスは、それぞれの取付け条件、組立スライド構造の剛性により異なります。プレストレスは、最大許容荷重の5～20％程度を推奨します。しかし、このようにして実現されたガイドレール構造全体の耐荷重は、どのような場合でも、適用されるプレストレスによって減少します。 ...

ストローク: 6.5 mm

ストローク: 50 mm - 600 mm

ストローク: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm

... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ドライ運転でも非常に長い寿命 オプションで設定可能 - ピエゾブレーク搭載可能 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス ...