リニアポジショニングステージ LA92

リニアモータ駆動単軸精密

LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - モーションコントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 40 mm - 繰り返し精度 ± 0.3 µm（一方向） ± 0.4 µm（双方向 - 荷重： → 19 N / ↑ 9 N - 最大速度： 200 mm/s - モーターナノモーション - ベアリング：クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでフルセラミック - フィードバックリニアスケール - フィードバック分解能 0.005 µm - 0.1 µm