回転ポジショニングステージ DT155

圧電単軸コンパクト

大口径高分解能ロータリーステージ UHV、DUV / EUV、クリーンルーム ISO 6、n x 360°、rep 0.0003°、速度 300°/秒、荷重 5 kg - クリーンルーム： ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望に応じてそれ以上のクラスにも対応可能） - 真空：HV/UHVの全レンジ、最大10～11 mbar - 潤滑：液体10-8 mbarまで/ドライ10-11 mbarまで - ベークアウト温度ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - マグネット仕様と低磁力仕様があります。 - 用途に合わせた材料選択と潤滑 - コントローラFMC400/450のオプション - 3D設計、プロトタイプ、連続生産によるカスタマイズ開発 高精度でダイナミックな画像処理 このコンパクトでフラットな回転ステージは、高速プロセスにおいて真空中で極めて高い解像度を実現します。79mm/3 "の大きな透過光により、大きなサンプルも正確に位置決め、測定、分析することができます。洗練された多軸システムに組み合わせることができ、当社のFMC 400/450コントローラーで簡単に制御できます。 応用分野 電子顕微鏡、イオン顕微鏡、走査型電子顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、ビームライン装置、シンクロトロン、材料研究、材料分析、ウェハ検査、半導体品質管理、半導体研究などの高精度で動的な顕微鏡検査。