- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ MT53圧電単軸クロスローラー
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 小型, 産業用, 真空対応, ウェハー運搬用, クロスローラー
- ストローク
最少: 1 mm
(0.039 in)最大: 10 mm
(0.394 in)- 速度
最少: 0.2 mm/s
最大: 10 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.2 µm
最大: 5 µm
- 積載量
最少: 0.5 kg
(1.1 lb)最大: 0.9 kg
(1.98 lb)
詳細
MT53
高分解能マイクロステージ
用途：多目的マイクロステージ
利点：高分解能スキャン用
特徴：非常に高い分解能での位置決め
- 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで
- 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで
- 磁気: 磁気
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- コントローラー FMC400/450 オプション
技術データ
- 移動量： 10 mm
- 繰返し精度： -
± 0.2 µm (一方向)
± 0.3 µm (双方向)
- 荷重： → 5 N / ↑ 8.8 N
- 最大速度： 0.2 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ベアリング：クロスローラーベアリング
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能： ± 0.1µm
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