- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ 2LA95-LA105電動3軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, ウェハー運搬用
- ストローク
最大: 7 mm
(0.276 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 3.6 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 1 µm
最少: 0.4 µm
- 積載量
最大: 2.9 kg
(6.39 lb)最少: 1.9 kg
(4.19 lb)
詳細
2LA95-LA105
ピエゾ式XYZシステム (UHV)
ストローク5 x 20 x 10 mm、最大荷重2 kgの三次元マニピュレーター。ドライランニング、ピエゾブレーキ、リードスクリュー、ステッピングモーター。実際の位置をフィードバックする測定システム付き。真空度10E-9mbarまでの実験室条件下での光学系アプリケーションに最適です。
技術データ
標準システム - LA95 LA95 LA105
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トラベル - [mm] 10 5 20
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位置決め速度 - [mm/s] 25 10 25
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最高速度速度 - [mm/s] 50 20 50
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重量 - [kg] 7
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カタログ
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