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- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ LA97-MT85圧電2軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, ウェハー運搬用
- ストローク
最大: 200 mm
(7.874 in)最少: 20 mm
(0.787 in)- 速度
最大: 10 mm/s
最少: 5 mm/s
- 繰返し精度
最大: 30 µm
(0.001 in)最少: 0.02 µm
- 積載量
最大: 20 kg
(44.09 lb)最少: 2 kg
(4.41 lb)
詳細
精密垂直LA97-MT85
用途多目的マニピュレーター
メリット：高解像度スキャン用
特徴高解像度の位置決め
- 真空：HV/UHV 10-11までの全圧力範囲に対応
- 磁気: 磁気
- 潤滑： 液体 10E-8 / ドライ 10E-11 mbarまで
- ベークアウト温度ベークアウト温度: 80°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- オプションでFMC400/450コントロールユニットを装着可能
- 技術データ
- 移動範囲: 20 mm - 200 mm
- 繰り返し精度
± 0.02 µm（一方向）
± 0.03 µm（双方向）
- 荷重： → 200 N / ↑ 20 N
- 最大速度最高速度： 10 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ガイドクロスローラーベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド、セラミック（オプション
- フィードバックリニア測定システム
- 分解能測定システム 0.001 µm - 0.1 µm
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