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- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ LT300電動単軸クロスローラー
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 真空対応, 高負荷, ウェハー運搬用, ボールねじ, クロスローラー, リードスクリュー
- ストローク
最少: 1 mm
(0.039 in)最大: 100 mm
(3.937 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最大: 10 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.4 µm
最大: 5 µm
- 積載量
最少: 4.4 kg
(9.7 lb)最大: 12 kg
(26.46 lb)
詳細
LT300
高精度高負荷リニアステージ
用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ
利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命
特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性
- 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応
- 磁気: 磁気
- 潤滑： 液体～10E-8 / 乾式～10E-11 mbar
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- ピエゾブレーク付きも可能
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- コントローラー FMC400/450 オプション
技術データ
- トラベル: 50 mm - 100 mm
- 繰り返し精度
± 2.4 µm、± 0.4 µm（一方向）
± 1.9 µm（双方向）
- 荷重： → 44 N / ↑ 120 N
- 最大速度： 10 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能： ± 0.1 µm
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