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- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ HT160電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 真空対応, ウェハー運搬用, 開ループ, クロスローラー
- ストローク
最大: 16 mm
(0.63 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 2.2 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 5 µm
最少: 1 µm
- 積載量
最大: 5 kg
(11.02 lb)最少: 4.5 kg
(9.92 lb)
詳細
HT160
精密高荷重垂直リフティングステージ
用途：真空リフティングステージ
利点：高剛性・高荷重
特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ
- 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar
- 最大10E-8 / 最大10E-11 mbarのドライ潤滑液
- マグネット仕様も可能
- 最大ベークアウト温度120°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能）
- コントローラー FMC400/450 オプション
技術データ
- トラベル：16 mm
- 繰返し精度： -
± 1μm、±1.7μm（一方向）
± 1.7μm、± 2μm（双方向）
- 荷重： → 50 N / ↑ 45 N
- 最大速度： 2.2 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド
- フィードバックオープンループ、リニアスケール
- フィードバック分解能: なしまたはリニア
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