電動マニピュレーター 3LT300

真空式ポジショニング3軸

3台のLT300からなる3軸マニピュレーター アプリケーション HV 3軸位置決めシステム 利点：位置決め到達時の安定性が非常に高い、ドライダブル 特徴 ピエゾブレーキによる安定化 - 真空：10-11までのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁気： 磁気 - 潤滑：液体 10E-8 / ドライ 10E-11 mbarまで - ベークアウト温度ベークアウト温度：120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - オプションでFMC400/450コントロールユニットを追加可能 技術データ - 移動範囲10 mm - 100 mm - 繰り返し精度 ± 4 µm（一方向） ±5μm（双方向） - 荷重： → 200 N / ↑ 20 N - 最大速度最大速度： 10 mm/s - モーターピエゾモーター - ガイドクロスローラーベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド - フィードバックリニア測定システム、オープンループ - 分解能測定システム 0.001 µm - 0.1 µm