- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ HT240電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 真空対応, ウェハー運搬用, 開ループ, クロスローラー
- ストローク
最大: 25 mm
(0.984 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 3.4 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 5 µm
最少: 0.3 µm
- 積載量
最大: 44 kg
(97 lb)最少: 0.5 kg
(1.1 lb)
詳細
HT240
精密高荷重垂直昇降ステージ
アプリケーション真空リフティングステージ
利点：高剛性・高荷重
特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ
- 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10-11 mbar
- 潤滑：液体10-8/ドライ10-11mbarまで
- 磁性: 磁気
- 最大ベークアウト温度120°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- コントローラーFMC400/450オプション
技術データ
- トラベル: - 25 mm
- 繰り返し精度
± 1.7µm、± 0.3µm（一方向）
± 2.7μm、± 0.5μm（両方向）
- 荷重： → 440N / ↑ 410N
- 最大速度： 3.4 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ベアリングクロスローラステンレス鋼、ハイブリッド
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能1 µm
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