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ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... - 幅わずか45mm - 駆動力 7 N - ナノメートルの位置分解能を持つインクリメンタルセンサー - アダプタープレートなしのXYコンビネーションが可能 圧電慣性駆動 圧電慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格の圧電ベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正されたノコギリ波電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーターはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性により、ランナーはアクチュエータの高速収縮に追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 ...
Physik Instrumente
ストローク: 26 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1740の寸法は40 x 17 x 8.5mmで、移動範囲は26mm、法線力は30Nである。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1740の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 [N] - ≥ 3.5 最大法線力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1750の移動範囲は31mm、法線力は30Nで、寸法は50 x 17 x 8.5mmです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース ...
SmarAct GmbH
ストローク: 41 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 60×17×8.5mmのSLC-1760は、41mmの移動範囲と30Nの法線力を提供する。 このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - > 1.3 ブロッキングフォース [N]≥ 3.5 最大法線力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 10 mm
速度: 1 mm/s
積載量: 115 g
... 最大15 Nの駆動力 最大1 nmの繰り返し精度 50 x 50 mmのフットプリントで10 mmの移動量 超小型多相ステージ NOVAコントローラシステム用 新世代のNOVAコントローラ・デバイス用の新しいDSP50リニアステージは、10mmの移動範囲で最大16Nのブロック力を扱うことができます。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最高1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。 光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野（光学測定や調整など）に利点をもたらします。 新型リニアステージDSP50は、新世代のNOVAコントローラに対応し、10mmの移動範囲で最大16Nのブロック力に対応します。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最大1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。 光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。 リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。 非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野（光学測定や調整など）に利点をもたらします。 技術データ 幅 ...
mechOnics ag
ストローク: 3 mm
速度: 1.5 mm/s
積載量: 6 g
... 10^(-6)mbarまでの高真空条件用 超コンパクト設計 xyz - コンビネーション可能 ピエゾ電気慣性駆動の超小型並進ステージ。MS15の真空バージョン。 技術データ 幅 - 15 mm 高さ - 7 mm 深さ - 15 mm 速度 - 1.5 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 4 Ncm モーメンタム (My) - 4 Ncm モーメンタム（Mz）- 4 Ncm ブロック力（Fx）- 3 N 支持力（Fy、Fz） - 20 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 ...
mechOnics ag
ストローク: 8 mm
速度: 1.2 mm/s
積載量: 32 g
... 10^(-6)mbarまでの高真空条件用 オールラウンダー アダプタープレートなしの多軸コンビネーション ピエゾ電気慣性駆動による小型並進ステージ。 技術データ 幅 - 30 mm 高さ - 12.5 mm 奥行き - 30 mm 速度 - 1.2 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N 支持力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 120 arc ...
mechOnics ag
... IAG-CLシリーズのポジショナーは、円筒レンズ用に設計されたユニークなマウントで、スプリングロードされたピボットを使用して、光学的な位置決めにおいて厳密に運動学的でもジンバルでもないマウントソリューションを提供します。その動きは光学中心を回転することでジンバル設計に最も近いですが、主な利点は調整ネジがビームパスの上に配置されていることです。IAGシリーズは、優れた解像度と触覚フィードバックを提供する精密な100TPI調整ネジを備えており、SoftTouch®カバー付きのキャプスタンノブキャップを含んでいます。Siskiyouのすべての「I」シリーズマウントと同様に、IAG-CLシリーズはワンレンチデザインを採用しており、ユーザーは単一のツールで光学系を固定し、その位置を調整し、マウントをロックすることができます。
製品の特徴
- 上部調整ネジの位置
- 100TPI調整ネジ
- 統合された光学偏光
- 真空対応バージョンはリクエストに応じて利用可能
性能仕様
- 移動
ストローク: 25 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s
Zaber Technologies - Vancouver, BC
ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 6軸六脚トライポッド構造体 E-HEX-10.6.100.100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...
... XRT-U 30は、超音波ピエゾモータによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステージです。 XRT-U 30を使用すると、空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を、より小さな容積でより低価格で実現できます。 他のピエゾモータ技術と比較して、超音波ピエゾモータは、より長い寿命、ノイズのない動作、低エネルギー消費を保証します。 これにより、XRT-Uは、マイクロCTスキャナ、計測アプリケーション、電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。 ...
Xeryon
ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
ストローク: 10, 13 mm
... XYZ ピエゾステージ ピエゾモータ駆動 トラベル 13 x 13 x 10 mm UHV 対応 ...
PM B.V.