真空対応ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体～10E-8 / 乾式～10E-11 mbar - 最高ベークアウト温度120°C オプション - ピエゾブレーク付きも可能 - ...

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... LA97 ナノメートルリニアステージ 用途：スキャニング 利点：ナノメータ位置決め、垂直方向にも対応 特徴：極限の分解能と最高の剛性を備えた位置決め 2（または4）個のモーターを装備可能 - 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 10E-8 mbar以下の液体潤滑 / 10E-11 mbar以下の乾式潤滑 - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 磁性、低磁性、磁性なしバージョンあり - ...

ストローク: 26 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1740は、40×17×8.5mmのサイズで、移動量26mm、法線方向の力30Nを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1740の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1750の可動範囲は31mm、法線方向の力は30Nで、寸法は50×17×8.5mmです。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 41 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1760は、60×17×8.5mmの大きさで、移動範囲41mm、法線方向の力30Nを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 10 mm
速度: 1 mm/s

ストローク: 3 mm
速度: 1.5 mm/s

ストローク: 8 mm
速度: 1.2 mm/s

ストローク: 25 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s

ストローク: 20 mm - 40 mm
速度: max 0.048 m/s

ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...

ストローク: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm

... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ドライ運転でも非常に長い寿命 オプションで設定可能 - ピエゾブレーク搭載可能 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ...

ストローク: 60, 130 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm

... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - 磁気バージョンもあります オプションで設定可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで用意 多軸システムの強力なコンポーネントとして、また複数のサンプルを同時にスキャンするために使用されます。超高真空中で高荷重をかけながら、垂直方向にも高精度の位置決めが可能です。 応用分野 多軸システムセットアップ、プロセスオートメーション、3Dスキャン、サンプルスキャン、イメージングシステムの位置決め、顕微鏡、サンプル分析、半導体検査、バイオテクノロジーおよび半導体技術における品質保証、研究、ビームライン、加速器、シンクロトロン ...

ストローク: 50 mm - 200 mm