- 動力・機械部品 >
- アクチュエータ・位置決め装置 >
- 高速ポジショニングステージ
高速ポジショニングステージ
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... - モーター駆動に比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...
Physik Instrumente
ストローク: 0 mm - 2,860 mm
速度: 1.3 m/s - 1.5 m/s
... - あらゆる用途に対応するドライブシステムとしてフレキシブルに構成可能 - 4種類のサイズを用意し、長さ単位を細かく設定可能 - 高い剛性、位置決め精度、再現性 - 移動範囲全体にわたって高精度の手順動作を実現 - 適切なレックスロスモーターと豊富なアクセサリー ...
Bosch Rexroth - Linear Motion Technology
ストローク: 30, 70 mm
速度: 10, 5 mm/s
... GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を達成します。その薄型で高精度なモーション能力により、このステージは半導体ウェハ検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適です。 -コンパクトなユニットに30mmまたは70mmの高精度垂直移動が可能。 -あらゆる方向からペイロードへのアクセスが可能 -クリープ防止クロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと卓越した軌跡精度 -内蔵リニアエンコーダによる高感度、優れた再現性、高精度モーション ダイレクト垂直ガイド GTS30Vにはマッチドペアのアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vにはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを採用し、高精度な垂直移動を実現しています。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌跡、滑らかで正確な動き、堅牢で長期的な動作を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラーベアリングには、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 精密研磨された低摩擦リードスクリューを備えた折りたたみ式DCモーターは、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現します。モーターとリードスクリュー間の減速ベルトは、利用可能な出力トルクを増加させ、サーボ感度を低減し、100nmのMIMを保証します。 ...
速度: 420, 280 mm/s
... 電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング(微振動)がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する(オープンループの場合)、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。 耐環境性に優れたレゾルバ採用によるクローズドループ制御 モータの位置検出には弊社上位機種と同様、信頼性に定評のあるレゾルバを採用しています。 粉塵やオイルミストなどの悪い環境下でも安定した位置検出が可能です。 また、1回転あたり20480パルスと高い分解能を誇ります。 ...
ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.02 mm
... ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証取得。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタムデザイン、プロジェクトについてご相談ください。 1.ベルト駆動かボールねじ駆動か? 2.どのくらいのストロークが必要ですか?X=?Y=?Z=? 3.負荷容量と速度範囲は? 4.モーションコントローラ、ドライバ、電源は必要ですか? ...
FUYU Technology
ストローク: 200 mm - 3,000 mm
速度: 3,000 mm/s
... 【Main Feature】 FBL80 linear guide, fully sealed structure, body width 80 mm, it is designed for dust proof usage in hard environment, avoid dust or miscellaneous debris fall into body structure to affect working,large stretch,small compression,hard object ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 250 mm/s
... 技術的特徴 FSK40リニアガイドは、半シーラー構造、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、調剤、スプレー塗装、外観検査、移動、把持、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック&プレース。 シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 200,000 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 1 µm
... 広い作業領域を持つガントリースタイルの直交ロボット。すべての可動軸は作業エリアの上部に配置されています。 - XYZガントリー 300 x 300 x 50 mm移動 - ボールねじ機構 - ステッピングモーターまたはサーボモーター駆動 オプション - 移動ストロークの大小 - 精密グレード - ボールねじリード - モータータイプ(ステッパーまたはサーボ/エンコーダー) - ロータリーテーブル設置 VISUAL IMACアイコンベースのコントローラーで簡単プログラム。コードを一行も書く必要なし! ...
ストローク: 300 mm
... 精密ボールねじを使用した薄型電動アクチュエータは、非常にコンパクトで薄型のユニットで、卓越した精度、再現性、1ミクロンの超微細位置決め分解能を提供します。光学、レーザーアプリケーション、真空操作など、スペースクリティカルなアプリケーションに最適です。 ストローク X x Y x Z : 300x300x300 mm ボールねじリード : 4 mm モーターマウントNema17 モータータイプ : ステッパー エンコーダ付きサーボ (4000cpr) 繰り返し精度:±8ミクロン 耐荷重:5kg 最大ねじ速度:10 ...
ストローク: 200 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 2 µm
... XYボールネジ駆動オープンフレームXYステージとリフトMLVTステージ、コンパクトウォームギア回転RTLAテーブルの組み合わせ - XYストローク 100mm~300mm - リフト量 12mm~25mm - 無制限回転 ...
ストローク: 10 mm
速度: 1 mm/s
積載量: 115 g
... 最大15 Nの駆動力 超小型多段ステージ NOVAコントローラシステム用 新世代のNOVAコントローラー装置用の新しいDSP50リニアステージは、10mmの移動範囲で最大16Nの阻止力に対応します。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最高1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。 光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。 非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野(光学測定や調整など)に利点をもたらします。 技術データ 幅 ...
ストローク: 50 mm
積載量: 10, 4 lb
... 7700シリーズのモーター駆動ステージは、交差ローラーベアリングを使用した非常にスムーズな直線移動を実現するために設計されています。これは、1700シリーズの交差ローラートランスレーションステージの統合バージョンであり、精密なプリロードされたリードスクリューを使用してドリフトのない動作を保証します。高速バージョンはリクエストに応じて利用可能です。ステージは、コントローラーとモーターエンコーダー間のクローズドループインターフェースを介して、eシリーズおよびMC2010コントローラーによって駆動され、高解像度で再現性のある位置決めを保証します。エンコーダーカップリングにより、DR1000デジタルリードアウトを使用して繰り返しまたは相対的な位置決め要件を満たすこともできます。
製品の特徴
- 1.7
ストローク: 75 mm - 1,000 mm
速度: 1.5 m/s
... リニアモーターステージにコントローラを内蔵することはできますか? (慎)はい! コントローラ内蔵のZaberの新しいリニアモーターステージ「X-LDQ-AE」をご紹介します。 これは、その種の最初のものです-1-2-3と同じくらい簡単にセットアップします。 これらのデバイスは事前にチューニングされ、Zaberのフリーソフトウェアにより、チューニングパラメータをすばやく簡単に調整できます。 ゼロ・バックラッシュ、1.5 m/s、2.5 µm 精度、1000 mm 走行時の精度。30 日間の満足保証と1 ...
ストローク: 1 mm - 500 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA80 高速UHVリニア軸 用途:高速搬送ステージ 利点:乾式潤滑にもかかわらず高寿命 特徴:乾式潤滑ボールねじ駆動 - 真空度: HV / UHV / EUVの全レンジ、10E-11 mbarまで - 磁気: 磁気 - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbar まで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 測定システム付きと測定システムなしのオプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - 高速XYZ搬送システム(例:LA90、LA95、LA170)との組み合わせが可能です。 - ...
速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 mm
... E-LMS250GT-Xリニアモータプラットフォームは、ベースとして高品質の花崗岩を使用し、高剛性リニアローラーガイドレールと鉄芯リニアモータを備えています。 平坦度、真直度、負荷容量に優れ、一般的に大型移動位置決め設備の基本モジュールとして使用される。 花崗岩ベース、優れた剛性と安定性、高い平面度。 C-LUBE技術によるリニアガイドレール、最大5年間の無潤滑サイクル。 高効率、非接触モーター、高速、高速安定性。 優れた拡張ストロークと負荷容量 顧客の生産要件に基づく迅速な納品。 高速リニアステージ ...
... XRT-Aは、スティックスリップピエゾモータによって駆動されます。 XRT-Aの特許取得済みのベアリング技術により、回転中でもラジアル誤差の動きをナノメートルレベルまで積極的に補償することができます。 これにより、XRT-Aはユニークで、市場で最も正確なピエゾ回転ステージになります。 500nm 未満の半径方向誤差動作により、XRT-Aは加圧された空気と大容量を必要とせず、有利な価格で空気軸受の精度を実現します。 その結果、XRT-Aは、圧度回転が必要な真空および磁気アプリケーションに最適なソリューションです。 ...
ストローク: 400, 175 mm
速度: 4.8 m/s
繰返し精度: 3 µm
... - PnPサイクル<0.4秒 - 1億サイクルのメンテナンスフリー - 高剛性 標準化されたLMS M 2軸システムは、質量最適化のために互いに直接接続された2軸が十字に配置されています。非常にコンパクトで、一体型で本質的に剛性の高い設計は、直立アプリケーション(Z/Y軸)と水平クロステーブルアプリケーション(X/Y軸)の両方に使用できます。最大5kgまたは10kgの質量を、最大のダイナミクスと最高の精度で位置決めできます。用途に応じて、オプションの重量バランスと保持ブレーキでシステムを補完することができます。豊富なオプションにより、数多くのアプリケーションが可能です。 LMS ...
KML Linear Motion Technology GmbH
ストローク: 850, 500 mm
速度: 1,500, 500 mm/s
繰返し精度: 40, 20 nm
... インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。 内蔵機能 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。 斬新なドラッグチェーンコンセプトにより、エネルギーチェーンから発生する外乱力を最小化。 ...
ストローク: 52 mm - 5,716 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm
... MLC5 リニアモータステージ:オートメーション用電気機械式アクチュエータ MLC5はISO3クリーンルーム認定を受けたカバー付きリニアモータステージです。その堅牢な設計により、汚れた環境や厳しい環境でのアプリケーションに最適です。高品質のガイドシステムを装備し、精度を高めるために回転ボールケージをオプションで取り付けることができます。中央潤滑システムにより、スムーズで効率的な動作を保証します。 このリニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度:± ...
ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空:全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液:最大10E-8 / ドライ:最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル(例:DT105)との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... 電動移動ステージは頑丈なプラットフォームで作られています。ボールベアリングのリードスクリューを使用し、高速でスムーズな動きを実現します。 960-0070-03はソリッドプラットフォームを採用しています。960-0070-03BS1は960-0070-03LSと異なり、高速移動用に設計されています。リードスクリューにボールベアリングを採用し、高速でスムーズな動きを実現しました。 ...