高速ポジショニングステージ

ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm

... - モーター駆動に比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...

ストローク: 0 mm - 2,860 mm
速度: 1.3 m/s - 1.5 m/s

... ボールレールテーブル、ボールねじアセンブリTKK付き、サイズ 155 詳細 ほとんどあらゆる用途の完全なドライブシステムとして柔軟な構成が可能です 細かな目盛りが付いた4つのサイズで供給可能 高剛性、高い位置決め精度、および繰り返し精度 移動範囲全体にわたって非常に高い精度 Rexroth モータおよび広範囲なアクセサリーに適合 ボールレールテーブルTKKは取付準備済みのリニアモーションシャフトで、2つの仕様が供給可能です アルミニウム製仕様：アルミフレーム製ベースプレートおよびキャリッジ、Lmaxまでの細かい目盛りで長さを 調整した4サイズ スチール製仕様：スチール製ベースプレートおよびキャリッジ、Lmaxまでの細かい目盛りで長さを調整した2 サイズ 基準縁付きベースプレートにより、迅速で簡単な取付けと容易な位置合わせ 許容誤差グレードT7のDIN69051に準拠したロール設計で、バックラッシュ不要のプリテンションボールねじ ドライブ ポリウレタン製保護ベローズでボールレールおよびボールねじを保護 ...

ストローク: 30, 70 mm
速度: 10, 5 mm/s

... GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を達成します。その薄型で高精度なモーション能力により、このステージは半導体ウェハ検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適です。 -コンパクトなユニットに30mmまたは70mmの高精度垂直移動が可能。 -あらゆる方向からペイロードへのアクセスが可能 -クリープ防止クロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと卓越した軌跡精度 -内蔵リニアエンコーダによる高感度、優れた再現性、高精度モーション ダイレクト垂直ガイド GTS30Vにはマッチドペアのアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vにはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを採用し、高精度な垂直移動を実現しています。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌跡、滑らかで正確な動き、堅牢で長期的な動作を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラーベアリングには、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 精密研磨された低摩擦リードスクリューを備えた折りたたみ式DCモーターは、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現します。モーターとリードスクリュー間の減速ベルトは、利用可能な出力トルクを増加させ、サーボ感度を低減し、100nmのMIMを保証します。 ...

速度: 420, 280 mm/s

... 電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング（微振動）がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する（オープンループの場合）、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。 耐環境性に優れたレゾルバ採用によるクローズドループ制御 モータの位置検出には弊社上位機種と同様、信頼性に定評のあるレゾルバを採用しています。 粉塵やオイルミストなどの悪い環境下でも安定した位置検出が可能です。 また、１回転あたり20480パルスと高い分解能を誇ります。 ...

ストローク: 50 mm
積載量: 10, 4 lb

... 7700シリーズのモーター駆動ステージは、交差ローラーベアリングを使用した非常にスムーズな直線移動を実現するために設計されています。これは、1700シリーズの交差ローラートランスレーションステージの統合バージョンであり、精密なプリロードされたリードスクリューを使用してドリフトのない動作を保証します。高速バージョンはリクエストに応じて利用可能です。ステージは、コントローラーとモーターエンコーダー間のクローズドループインターフェースを介して、eシリーズおよびMC2010コントローラーによって駆動され、高解像度で再現性のある位置決めを保証します。エンコーダーカップリングにより、DR1000デジタルリードアウトを使用して繰り返しまたは相対的な位置決め要件を満たすこともできます。

製品の特徴

• 1.7

ストローク: 75 mm - 1,000 mm
速度: 1.5 m/s

... リニアモーターステージにコントローラを内蔵することはできますか？ （慎）はい！ コントローラ内蔵のZaberの新しいリニアモーターステージ「X-LDQ-AE」をご紹介します。 これは、その種の最初のものです-1-2-3と同じくらい簡単にセットアップします。 これらのデバイスは事前にチューニングされ、Zaberのフリーソフトウェアにより、チューニングパラメータをすばやく簡単に調整できます。 ゼロ・バックラッシュ、1.5 m/s、2.5 µm 精度、1000 mm 走行時の精度。30 日間の満足保証と1 ...

ストローク: 1 mm - 500 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA80 高速UHVリニア軸 用途：高速搬送ステージ 利点：乾式潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：乾式潤滑ボールねじ駆動 - 真空度： HV / UHV / EUVの全レンジ、10E-11 mbarまで - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbar まで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 測定システム付きと測定システムなしのオプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - 高速XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能です。 - ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 mm

... E-LMS250GT-Xリニアモータプラットフォームは、ベースとして高品質の花崗岩を使用し、高剛性リニアローラーガイドレールと鉄芯リニアモータを備えています。 平坦度、真直度、負荷容量に優れ、一般的に大型移動位置決め設備の基本モジュールとして使用される。 花崗岩ベース、優れた剛性と安定性、高い平面度。 C-LUBE技術によるリニアガイドレール、最大5年間の無潤滑サイクル。 高効率、非接触モーター、高速、高速安定性。 優れた拡張ストロークと負荷容量 顧客の生産要件に基づく迅速な納品。 高速リニアステージ ...

... XRT-Aは、スティックスリップピエゾモータによって駆動されます。 XRT-Aの特許取得済みのベアリング技術により、回転中でもラジアル誤差の動きをナノメートルレベルまで積極的に補償することができます。 これにより、XRT-Aはユニークで、市場で最も正確なピエゾ回転ステージになります。 500nm 未満の半径方向誤差動作により、XRT-Aは加圧された空気と大容量を必要とせず、有利な価格で空気軸受の精度を実現します。 その結果、XRT-Aは、圧度回転が必要な真空および磁気アプリケーションに最適なソリューションです。 ...

ストローク: 400, 175 mm
速度: 4.8 m/s
繰返し精度: 3 µm

... - PnPサイクル<0.4秒 - 1億サイクルのメンテナンスフリー - 高剛性 標準化されたLMS M 2軸システムは、質量最適化のために互いに直接接続された2軸が十字に配置されています。非常にコンパクトで、一体型で本質的に剛性の高い設計は、直立アプリケーション（Z/Y軸）と水平クロステーブルアプリケーション（X/Y軸）の両方に使用できます。最大5kgまたは10kgの質量を、最大のダイナミクスと最高の精度で位置決めできます。用途に応じて、オプションの重量バランスと保持ブレーキでシステムを補完することができます。豊富なオプションにより、数多くのアプリケーションが可能です。 LMS ...

ストローク: 850, 500 mm
速度: 1,500, 500 mm/s
繰返し精度: 40, 20 nm

... インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。 内蔵機能 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。 斬新なドラッグチェーンコンセプトにより、エネルギーチェーンから発生する外乱力を最小化。 ...

ストローク: 52 mm - 5,716 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm

... MLC5 リニアモータステージ：オートメーション用電気機械式アクチュエータ MLC5はISO3クリーンルーム認定を受けたカバー付きリニアモータステージです。その堅牢な設計により、汚れた環境や厳しい環境でのアプリケーションに最適です。高品質のガイドシステムを装備し、精度を高めるために回転ボールケージをオプションで取り付けることができます。中央潤滑システムにより、スムーズで効率的な動作を保証します。 このリニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度：± ...

ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...

ストローク: 200, 175 mm