リニアポジショニングステージ DSP50

XYZ軸圧電3軸

最大15 Nの駆動力 超小型多段ステージ NOVAコントローラシステム用 新世代のNOVAコントローラー装置用の新しいDSP50リニアステージは、10mmの移動範囲で最大16Nの阻止力に対応します。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最高1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。 光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。 非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野（光学測定や調整など）に利点をもたらします。 技術データ 幅 - 50 mm 高さ - 16 mm 奥行き - 50 mm 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 6.5 Ncm モーメンタム (My) - 6.5 Ncm モーメンタム (Mz) - 6.5 Ncm ブロック力 (Fx) - 16 N 支持力（Fy、Fz） - 0 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um 測定情報 リファレンスマーク - 中央 分解能 - 1um～1nm 電源電圧 - 5 V 消費電力 - 200 mA