トランスレーションポジショニングステージ MS30

圧電多軸小型

45 x 52のmmの足跡の30のmm旅行 のため閉じたループ操作（50nmまでの決断） アダプター版のない多斧の組合せ 測定システムが付いているpiezo電気慣性ドライブが付いているミニチュア翻訳段階。